Ағылшыншамен салыстырыңыз: абзацты басыңыз — түпнұсқа терезеде ашылады. Абзац астындағы EN түймесі оны мәтін ішінде көрсетеді.
Мазмұны
Кіріспе
Etec Systems – 1970 жылдан 2005 жылға дейін сканерлік электрондық микроскоптар, электронды сәулелі литография және лазерлік сәулелі литография құралдарын өндірген американдық компания. Ол Калифорния штатының Хейвард және Орегон штатының Хиллсборо қалаларында орналасқан.
Etec Systems was an American producer of scanning electron microscopes, electron beam lithography tools, and laser beam lithography tools from 1970 until 2005. It was located in Hayward, California, and Hillsboro, Oregon.
Компания тарихы
Etec Corporation 1970 жылы Калифорния штатының Хейвард қаласында сканерлік электронды микроскоптар (SEM) өндірушісі ретінде құрылды, бірақ кейіннен электронды сәулелі литография құралдарын өндіруге көшті, ал SEM өндірісі тоқтатылды. Кейіннен Etec компаниясы Орегон штатының Бивертон қаласында (Портленд аймағы) лазерлік сәулелі литография құралдарын өндіретін ATEQ компаниясымен бірікті. Біріккен компания "Etec Systems" деп аталды және электрондық және лазерлік сәулелерге негізделген литографиялық өнімдер ұсынды. Бұл өнімдер интегралды схемалар өндірісінде қолданылатын фотомаскалар мен ретикульдерге бағытталған. 1999 жылы компанияның Орегон штатының Бивертон бөлігі Хиллсборо қаласына көшірілді. Etec компаниясы 2000 жылы Applied Materials компаниясымен сатып алынып, Applied Materials корпорациясының құрамында дербес бизнес-топ ретінде ұйымдастырылды. 2000 жылы Etec Хейвард қаласында 600 адамды жұмыспен қамтыды. 2002 жылы Applied Materials компаниясы Etec компаниясын жабу жоспарын қарастырып жатқанын хабарлады. 2005 жылдың қазан айында Etec Systems компаниясы аналық Applied Materials компаниясына енгізілді.
Etec Corporation of Hayward, California, was formed in 1970 as a producer of scanning electron microscopes (SEMs), but later became a producer of electron beam lithography tools, and SEM manufacture was discontinued. Etec later merged with ATEQ of Beaverton, Oregon (Portland area), which manufactured laser beam lithography tools. The combined company was named "Etec Systems" and offered a portfolio of lithography relying on both electron and laser beams. These products targeted the photomasks and reticles used in integrated circuit manufacturing. In 1999 the Beaverton, Oregon portion of the company was moved to Hillsboro, Oregon. Etec was purchased by Applied Materials in 2000, and organized within the Applied Materials corporation as an autonomous business group. In 2000, Etec employed 600 workers in Hayward. In 2002, Applied Materials announced it was reviewing a plan to shut down Etec. Etec Systems was absorbed into its parent company Applied Materials in October 2005.
Сканерлік электронды микроскоптар
1970 жылы құрылған Etec компаниясы өте жоғары сапалы сканирлейтін электронды микроскоптарды өндірді; көптеген құралдар 30 жыл өткен соң да жақсы жұмыс істеп тұр. Нельсон Ю жасаған Autoscan тамаша кескіндерді жасады, цифрлық шу және басқа да мәселелерге бейімделген қазіргі заманғы құралдардан асып түсті. MEBES басты өнімге айналғаннан кейін, компанияны Perkin Elmer сатып алды және электронды микроскоптардың өндірісі тоқтатылды.
Originally formed in 1970, Etec produced scanning electron microscopes of very high quality; many instruments are still working well 30 years later. Designed by Nelson Yew, the Autoscan has produced excellent images, outperforming modern instruments subject to digital noise and other problems. As the MEBES became the major product, the company was bought by Perkin Elmer, and the SEM manufacture was discontinued.
Электрондық сәулелі литографиялық құралдар
2002 жылдан кейін біраз уақыт өткен соң бастапқы Etec ұсынысын құраған өнім желісі (MEBES – Manufacturing Electron Beam Exposure System) тоқтатылды. Көптеген MEBES III құралдары жоғары өнімділікке ие және еріткіштің қатысуын қажет етпейтін, экологиялық таза IP3500 түріндегі резист қолданатын Etec CORE және ALTA лазерлік литографиялық құралдарының пайдасына істен шығарылды. Дегенмен, бүгінгі таңға дейін әлемнің түкпір-түкпірінде MEBES III және IV құралдары қолданылып келеді.
Some time after 2002 the product line that constituted the original Etec offering (MEBES – Manufacturing Electron Beam Exposure System) was discontinued. Most MEBES III tools have been decommissioned in favour of Etec CORE and ALTA laser lithography tools, which have a faster throughput and use a more environmentally friendly IP3500 type resist which does not require a solvent based development process. However, there continue to be a number of MEBES III and IV in use throughout the world currently.
Лазерлік литографиялық құралдар
2005 жылы Etec компаниясын сатып алғаннан кейін, Etec лазерлік литография құралдарының тізбесі Applied Materials компаниясымен әзірлене және өндіріле береді. Швециялық Micronic AB және неміс Heidelberg Instruments компаниялары лазерлік фотомаска жасау шешімдері бойынша бәсекелес болып табылады. Дегенмен, Applied Materials лазерлік литография құралына деген сұраныс, оны фотомаска индустриясында ең көп қолданылатын және қолжетімді құрал ретінде сақтап тұруға мүмкіндік берді.
With the purchase of Etec in 2005, the Etec line of laser based lithography tools continues to be developed and produced by Applied Materials. A Swedish firm Micronic AB and a German firm Heidelberg Instruments is a competitor in laser based mask making solutions. However, the demand for Applied Material's laser lithography tool has allowed it to be still be the most widely available and used tool in the photomask industry.