Etec Systems: История компании и развитие литографии
Etec Systems
Etec Systems: производство электронных и лазерных литографических систем и сканирующих электронных микроскопов (1970-2005). История, слияния, технологии.
Сравнивайте с английским: нажмите на абзац — оригинал откроется в окне. Кнопка EN под абзацем показывает его прямо в тексте.
Содержание
Введение
Etec Systems была американской компанией-производителем сканирующих электронных микроскопов, оборудования для электронной литографии и лазерной литографии с 1970 по 2005 год. Она располагалась в городах Хейворд, штат Калифорния, и Хиллсборо, штат Орегон.
Etec Systems was an American producer of scanning electron microscopes, electron beam lithography tools, and laser beam lithography tools from 1970 until 2005. It was located in Hayward, California, and Hillsboro, Oregon.
История компании
Корпорация Etec, основанная в 1970 году в городе Хейвард, штат Калифорния, изначально занималась производством сканирующих электронных микроскопов (SEM), но впоследствии переориентировалась на производство оборудования для электронно-лучевой литографии, прекратив выпуск SEM. Позже Etec объединилась с компанией ATEQ из Бивертона, штат Орегон (район Портленда), которая производила оборудование для лазерной литографии. Объединенная компания получила название "Etec Systems" и предлагала широкий спектр оборудования для литографии, использующего как электронные, так и лазерные лучи. Данная продукция предназначалась для изготовления фотомасок и ретикул, применяемых в производстве интегральных схем. В 1999 году подразделение компании, расположенное в Бивертоне, штат Орегон, было перенесено в Хиллсборо, штат Орегон. В 2000 году Etec была приобретена компанией Applied Materials и организована в ее структуре как самостоятельное бизнес-подразделение. В 2000 году на предприятии в Хейварде работало 600 сотрудников. В 2002 году Applied Materials объявила о рассмотрении плана по закрытию Etec. В октябре 2005 года Etec Systems была полностью интегрирована в состав материнской компании Applied Materials.
Etec Corporation of Hayward, California, was formed in 1970 as a producer of scanning electron microscopes (SEMs), but later became a producer of electron beam lithography tools, and SEM manufacture was discontinued. Etec later merged with ATEQ of Beaverton, Oregon (Portland area), which manufactured laser beam lithography tools. The combined company was named "Etec Systems" and offered a portfolio of lithography relying on both electron and laser beams. These products targeted the photomasks and reticles used in integrated circuit manufacturing. In 1999 the Beaverton, Oregon portion of the company was moved to Hillsboro, Oregon. Etec was purchased by Applied Materials in 2000, and organized within the Applied Materials corporation as an autonomous business group. In 2000, Etec employed 600 workers in Hayward. In 2002, Applied Materials announced it was reviewing a plan to shut down Etec. Etec Systems was absorbed into its parent company Applied Materials in October 2005.
Сканирующие электронные микроскопы
Первоначально образованная в 1970 году, компания Etec выпускала сканирующие электронные микроскопы исключительно высокого качества; многие приборы до сих пор успешно работают спустя 30 лет. Автосканер, разработанный Нельсоном Ю, позволял получать превосходные изображения, превосходя современные инструменты, страдающие от цифрового шума и других недостатков. Когда MEBES стал основным продуктом, компания была приобретена Perkin Elmer, и производство SEM было остановлено.
Originally formed in 1970, Etec produced scanning electron microscopes of very high quality; many instruments are still working well 30 years later. Designed by Nelson Yew, the Autoscan has produced excellent images, outperforming modern instruments subject to digital noise and other problems. As the MEBES became the major product, the company was bought by Perkin Elmer, and the SEM manufacture was discontinued.
Инструменты для литографии электронным лучом
Через некоторое время после 2002 года производство линейки продуктов, составлявшей первоначальное предложение Etec (MEBES – система электронно-лучевой литографии для производства), было прекращено. Большинство установок MEBES III были выведены из эксплуатации в пользу установок лазерной литографии Etec CORE и ALTA, обеспечивающих более высокую производительность и использующих более экологичный фоторезист типа IP3500, не требующий разработки на основе растворителей. Тем не менее, в настоящее время во всем мире продолжают использоваться отдельные установки MEBES III и IV.
Some time after 2002 the product line that constituted the original Etec offering (MEBES – Manufacturing Electron Beam Exposure System) was discontinued. Most MEBES III tools have been decommissioned in favour of Etec CORE and ALTA laser lithography tools, which have a faster throughput and use a more environmentally friendly IP3500 type resist which does not require a solvent based development process. However, there continue to be a number of MEBES III and IV in use throughout the world currently.
Инструменты для лазерной литографии
С приобретением Etec в 2005 году линейка лазерных литографических установок Etec продолжает разрабатываться и производиться компанией Applied Materials. Шведская компания Micronic AB и немецкая компания Heidelberg Instruments являются конкурентами в области лазерного изготовления фотошаблонов. Однако спрос на лазерные литографические установки Applied Materials позволяет им оставаться самым распространенным и используемым оборудованием в индустрии фотомасок.
With the purchase of Etec in 2005, the Etec line of laser based lithography tools continues to be developed and produced by Applied Materials. A Swedish firm Micronic AB and a German firm Heidelberg Instruments is a competitor in laser based mask making solutions. However, the demand for Applied Material's laser lithography tool has allowed it to be still be the most widely available and used tool in the photomask industry.