Кіріспе

Құжаттар жиынтығы
International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) – жартылай өткізгіштерді зерттеу корпорациясы үйлестіріп, ұйымдастырған және жартылай өткізгіш индустриясы сарапшыларының тобы дайындаған құжаттар жиынтығы. Бұл сарапшылар демеуші ұйымдардың өкілдері болды, соның ішінде Тайвань, Оңтүстік Корея, АҚШ, Еуропа, Жапония және Қытай жартылай өткізгіш өнеркәсіптік қауымдастықтары. 2017 жылдан бастап ITRS жаңартылмайды. Оның ізбасары – Халықаралық құрылғылар және жүйелер жол картасы. Құжаттарда ескерту келтірілген: «ITRS тек технологияны бағалау мақсатында жасалған және жеке өнімдерге немесе жабдықтарға қатысты коммерциялық мәселелерді ескермейді». Құжаттар келесі технология салалары бойынша зерттеу бағыттары мен алдағы шамамен 15 жылға дейінгі уақыт кестесі туралы сарапшылардың ең жақсы пікірін көрсетеді:

Тарих

Интегралды схеманы немесе кез келген жартылай өткізгіш құрылғыны құру үшін бірқатар операциялар қажет: фотолитография, тегістеу, металл жапсыру және т.б. Өнеркәсіп дамыған сайын, осы операциялардың әрқайсысы әртүрлі коммерциялық компаниялар жасаған мамандандырылған машиналармен орындалатын болды. Мұндай мамандану өнеркәсіптің дамуын қиындатуы мүмкін, себебі көп жағдайда бір компания жаңа өнімді енгізсе, егер басқа қажетті қадамдар сол уақытта қолжетімді болмаса, ол тиімсіз болады. Технологиялық жол картасы осы мәселені шешуге көмектеседі, өйткені ол белгілі бір мүмкіндік қашан қажет болатынын көрсетеді. Содан кейін әрбір жеткізуші өзінің пазл бөлігі үшін осы мерзімді мақсат ете алады. Өндіріс құралдарын мамандандырылған жабдықтарды жеткізушілерге біртіндеп ауыстыру процесінде қатысушылар нарықтың эволюциясын болжау және интегралды схемалар өндірісінің технологиялық қажеттіліктерін жоспарлау және бақылау үшін нақты жол картасының қажеттігін анықтады. Бірнеше жыл бойы Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі қауымдастығы (SIA) осы координациялау жауапкершілігін АҚШ-қа жүктеді, бұл Американдық үлгідегі жол картасы – Жартылай өткізгіштердің Ұлттық технологиялық жол картасын (NTRS) құруға әкелді. 1998 жылы SIA Еуропа, Жапония, Корея және Тайваньтағы әріптестерімен жақындасып, алғашқы жаһандық жол картасын – Халықаралық технологиялық жол картасын (ITRS) жасады. Бұл халықаралық топта (ITRS-тің 2003 жылғы басылымы бойынша) ITRS жұмыс топтарымен байланысты 936 компания болды. Ұйым Техникалық жұмыс топтарына (ТЖТ) бөлінді, олардың саны 17-ге дейін өсті, әрқайсысы технологияның маңызды элементіне және оған байланысты жеткізу тізбегіне назар аударды. Әдетте ITRS жол картасы жұп жылдары жаңартылып, тақ жылдары толығымен қайта қаралатын. ITRS жол картасының соңғы қайта қаралуы 2013 жылы жарияланды. 2013 жылғы кестелердегі масштабтау нәтижелерінің әдістемесі мен физикасы транзисторлардың жол картасын болжау үшін қолданылған, 2028 жылға дейінгі 15 жылға есептелген, толық жолақты атомистік модельдеу арқылы сипатталған, онда екі қақпалы MOSFET-тер қарастырылған. Мур заңының күні батуы және ITRS 2016 жылы соңғы жол картасын шығарғаннан кейін, IEEE-нің «Есептеуді қайта іске қосу» бастамасы аясында құрылғылар мен жүйелерге арналған Халықаралық жол картасы (IRDS) деп аталатын, көбірек жалпылама жол картасын жасауға бағытталған жаңа бастама қолға алынды.

ITRS 2.0

2014 жылдың сәуірінде ITRS комитеті ITRS жол картасын өнеркәсіптің қажеттіліктеріне орай қайта ұйымдастыруды жариялады. Жоспарға 17 техникалық жұмыс тобының құрамындағы барлық элементтерді жеті бағытқа жіктеу кірді: