Кіріспе

Плазмалық электролиттік тотығу (PEO), сондай-ақ электролиттік плазмалық тотығу (EPO) немесе микроарк тотығу (MAO) деп те аталады, – металдарда оксидтік жабындар жасауға арналған электрохимиялық беттік өңдеу процесі. Бұл процесс анодтауға ұқсас, бірақ одан жоғары потенциалдар қолданылады, нәтижесінде разрядтар пайда болады және түзілген плазма оксидті қабаттың құрылымын өзгертеді. Бұл процесті алюминий, магний және титан сияқты металдарда ондаған немесе жүздеген микрометр қалыңдығындағы, негізінен кристалдық оксидтік жабындар өсіру үшін пайдалануға болады. Олардың жоғары қаттылығы мен үздіксіз кедергі қасиеттеріне байланысты, бұл жабындар тозуға, коррозияға немесе жылуға қарсы қорғаныс және электр оқшаулауды қамтамасыз етеді. Жабын – бұл субстрат металдың оксидке химиялық түрленуі, ол бастапқы металл бетінен ішкі және сыртқы жаққа қарай өседі. Субстратқа терең бойлап өсуінің арқасында, ол металлға өте жақсы жабысады. Барлық иленген алюминий қорытпалары және көптеген құйма қорытпалары сияқты, субстрат қорытпаларының кең ауқымын жабуға болады, бірақ кремнийдің жоғары құрамы жабынның сапасын төмендетуі мүмкін.

Процесс

Алюминий сияқты металдар табиғи түрде тотығудан орташа қорғаныс беретін пассивтеуші оксид қабатын қалыптастырады. Бұл қабат металл бетіне берік жабысады және сызат салса тез қайта өседі. Дәстүрлі анодтау кезінде, металл бетіне электр потенциалы қолданылып, бөлшек қышқыл электролитке батырылады, осы арқылы оксид қабаты өседі. Плазмалық электролиттік тотығу (ПЭО) кезінде жоғары потенциалдар қолданылады. Мысалы, алюминийді плазмалық электролиттік тотығу үшін кемінде 200 В қолдану қажет. Бұл өсіп келе жатқан оксид пленкасының диэлектрлік түзілу потенциалын жергілікті түрде асырып, разрядтарға (шығарылымдарға) әкеледі. Бұл разрядтардың нәтижесінде жоғары температура және қысым жағдайында өсіп келе жатқан оксидті өзгертетін локальды плазмалық реакциялар пайда болады. Процестерге оксидтің балқыту, балқыма ағыны, қайтадан қатану, спекация және тығыздануы кіреді. Ең маңызды әсерлердің бірі – оксидтің аморфты алюминийден кристалл түрлеріне, мысалы, корундқа (α Al2O3) өзгеруі, ол әлдеқайда қаттырақ. ), ПЭО жабындарының механикалық қасиеттері.