Введение

Высоковакуумный насос

Диффузионные насосы используют высокоскоростную струю пара для направления молекул газа из горловины насоса вниз, в его нижнюю часть, и далее в выпускное отверстие. Они были первыми высоковакуумными насосами, работающими в режиме свободного молекулярного потока, где движение молекул газа лучше описывается диффузией, чем традиционной гидродинамикой. Изобретенный в 1915 году Вольфгангом Гаде, он назвал его диффузионным насосом, поскольку его конструкция основывалась на принципе, что газ не может диффундировать против потока пара, а будет уноситься им в выпускное отверстие. Однако принцип работы, возможно, точнее описать как газоструйный насос, поскольку диффузия также играет роль в других типах высоковакуумных насосов. В современных учебниках диффузионный насос классифицируется как насос переноса импульса. Диффузионные насосы широко используются как в промышленности, так и в научных исследованиях. В качестве рабочей жидкости в большинстве современных диффузионных насосов используются силиконовое масло или полифениловые эфиры.

История

В конце XIX века большинство вакуумов создавались с помощью насоса Спренгеля, который отличался простотой в эксплуатации и способностью достигать достаточно хорошего вакуума при достаточном времени. Однако по сравнению с более поздними насосами, скорость откачки была очень низкой, а давление паров ртути ограничивало предельную степень вакуума. После изобретения молекулярного насоса, Вольфганг Геде изобрел диффузионный насос в 1915 году и первоначально использовал элементарную ртуть в качестве рабочей жидкости. Вскоре после изобретения конструкция была быстро коммерциализирована компанией Leybold. В дальнейшем её усовершенствовали Ирвинг Лангмуир и У. Кроуфорд. Сесил Реджинальд Берч обнаружил возможность использования силиконового масла в 1928 году.

Типы масел

Наименее дорогие масла для диффузионных насосов основаны на углеводородах, очищенных двойной дистилляцией. По сравнению с другими жидкостями, они имеют более высокое давление паров, поэтому обычно используются при давлении не выше определенного предела. Они также наиболее подвержены возгоранию или взрыву при контакте с окислителями. Наиболее распространенными силиконовыми маслами, используемыми в диффузионных насосах, являются трисилоксаны, содержащие химическую группу Si-O-Si-O-Si, к которой присоединены различные фенильные или метильные группы. Они доступны в виде так называемых смесей 702 и 703, которые ранее производились компанией Dow Corning. Эти смеси могут быть дополнительно разделены на масла 704 и 705, состоящие из изомеров тетрафенилтетраметилтрисилоксана и пентафенилтриметилтрисилоксана соответственно. Для откачки реакционноспособных газов обычно используется масло на основе полифенилового эфира. Эти масла обладают наивысшей химической и термической стойкостью среди масел для диффузионных насосов.

Извергатели пара

Извергатель пара – распространенный тип насоса, используемый для вакуумной дистилляции и лиофильной сушки. Струя пара увлекает за собой пар, который необходимо удалить из вакуумной камеры. Извергатели пара могут быть одно- или многоступенчатыми, с конденсаторами между ступенями или без них. Хотя и извергатели пара, и диффузионные насосы используют струи пара для увлечения газа, они работают по принципиально разным принципам: извергатели пара полагаются на вязкое течение и перемешивание для откачки газа, в то время как диффузионные насосы используют молекулярную диффузию. Это имеет ряд последствий. В диффузионных насосах входное давление может быть значительно ниже статического давления струи, тогда как в извергателях пара эти два давления примерно равны. Кроме того, диффузионные насосы способны достигать гораздо более высоких степеней сжатия и не могут выпускать отработанный газ непосредственно в атмосферу.