Введение
Экран ЭЛТ
Дисплей на основе электронных излучателей поверхностного проводимости (SED) – это технология отображения для плоских дисплеев, разработанная рядом компаний. SED используют наноразмерные электронные излучатели для возбуждения цветных люминофоров и создания изображения. В общем смысле, SED состоит из матрицы крошечных электронно-лучевых трубок, каждая из которых формирует один субпиксель на экране, объединенный в группы по три для создания красных, зеленых и синих (RGB) пикселей. SED сочетают в себе преимущества ЭЛТ, такие как высокая контрастность, широкие углы обзора и очень быстрое время отклика, с компактностью LCD и других плоских дисплеев. После значительных временных и финансовых затрат в начале и середине 2000-х годов разработки SED начали сворачиваться в 2009 году, когда LCD стали доминирующей технологией. В августе 2010 года Canon объявила о прекращении совместной работы над коммерциализацией SED, что ознаменовало конец разработок. SED тесно связаны с другой перспективной технологией отображения – дисплеем полевой эмиссии (FED), отличаясь в основном конструкцией электронных излучателей. Sony, основной инвестор в FED, также сократила свои усилия по разработке.
Описание
Обычная электронно-лучевая трубка (ЭЛТ) питается от электронного пушки, по сути, открытой вакуумной трубки. На одном конце пушки электроны производятся путем "выкипания" их с металлической нити, что требует относительно высоких токов и потребляет значительную часть мощности ЭЛТ. Затем электроны ускоряются и фокусируются в быстродвижущийся луч, направленный к экрану. Электромагниты, окружающие пушковую часть трубки, используются для отклонения луча по мере его движения, позволяя сканировать луч по экрану для создания двухмерного изображения. Когда быстродвижущиеся электроны сталкиваются с люминофором на задней стороне экрана, излучается свет. Цветные изображения создаются путем нанесения на экран точек или полос из трех цветных люминофоров: красного, зеленого и синего (RGB). При рассматривании с расстояния эти точки, известные как "субпиксели", сливаются в глазу, образуя единый элемент изображения, называемый пикселем. SED заменяет единственную пушку обычной ЭЛТ сеткой наноскопических излучателей, по одному для каждого субпикселя дисплея. Излучатель состоит из тонкой щели, через которую электроны перепрыгивают при подаче высокого напряжения. Из-за наноскопического размера щелей требуемое поле может соответствовать потенциалу порядка десятков вольт. Примерно 3% электронов сталкиваются с материалом щели с противоположной стороны и рассеиваются с поверхности излучателя. Второе поле, прикладываемое извне, ускоряет эти рассеянные электроны к экрану. Создание этого поля требует киловольтовых потенциалов, но это постоянное поле, не требующее переключения, поэтому электроника, его создающая, относительно проста. Каждый излучатель выровнен напротив цветной люминофорной точки. Ускоренные электроны попадают в точку и заставляют ее излучать свет аналогичным образом, как в обычной ЭЛТ. Поскольку каждая точка на экране освещается одним излучателем, нет необходимости отклонять или направлять луч, как в ЭЛТ. Эффект квантового туннелирования, который излучает электроны через щели, сильно нелинеен, и процесс излучения, как правило, полностью включен или выключен для любого заданного напряжения. Это позволяет выбирать конкретные излучатели, подавая питание на один горизонтальный ряд на экране, а затем одновременно подавая питание на все необходимые вертикальные столбцы, тем самым активируя выбранные излучатели. Половина мощности, получаемая остальными излучателями в ряду, слишком мала для вызова эмиссии, даже в сочетании с напряжением, просачивающимся от активных излучателей рядом с ними. Это позволяет SED-дисплеям работать без активной матрицы тонкопленочных транзисторов, которые требуются ЖК-дисплеям и аналогичным дисплеям для точного выбора каждого субпикселя, и дополнительно снижает сложность массива излучателей. Однако это также означает, что изменения напряжения нельзя использовать для управления яркостью результирующих пикселей. Вместо этого излучатели быстро включаются и выключаются с помощью широтно-импульсной модуляции (ШИМ), так что общая яркость точки в любой момент времени может контролироваться. SED-экраны состоят из двух стеклянных листов, разделенных на несколько миллиметров, задний слой поддерживает излучатели, а передний – люминофоры. Переднюю часть легко подготовить с использованием методов, аналогичных существующим системам ЭЛТ; люминофоры наносятся на экран с использованием различных технологий шелкографии или аналогичных технологий, а затем покрываются тонким слоем алюминия, чтобы сделать экран визуально непрозрачным и обеспечить электрический путь возврата для электронов после их попадания на экран. В SED этот слой также служит передним электродом, который ускоряет электроны к экрану, поддерживая его при постоянном высоком напряжении относительно коммутационной сетки. Как и в случае с современными ЭЛТ, на стекло наносится темная маска перед нанесением люминофора, чтобы придать экрану темно-серый цвет и улучшить коэффициент контрастности. Создание заднего слоя с излучателями – это многоступенчатый процесс. Сначала на экран наносится матрица из серебряных проводов для формирования рядов или столбцов, добавляется изолятор, а затем сверху наносятся столбцы или ряды. В этот массив добавляются электроды, обычно из платины, оставляя промежуток около 60 микрометров между столбцами. Затем в промежутки между электродами наносятся квадратные накладки оксида палладия (PdO) толщиной всего 20 нанометров, соединяющие их для подачи питания. В накладке посередине прорезается небольшая щель путем многократной подачи через них высоких токов. В результате эрозии образуется зазор. Зазор в накладке формирует излучатель. Ширина зазора должна строго контролироваться для правильной работы, что оказалось сложной задачей на практике. Современные SED добавляют еще один шаг, который значительно упрощает производство. Накладки наносятся с гораздо большим зазором между ними, до 50 нм, что позволяет наносить их непосредственно с использованием технологии, адаптированной от струйных принтеров. Затем весь экран помещается в органический газ, и через накладки посылаются электрические импульсы. Углерод из газа притягивается к краям щели в квадратных накладках PdO, образуя тонкие пленки, которые вертикально выступают над зазорами и растут навстречу друг другу под небольшим углом. Этот процесс самоограничивающийся; если зазор становится слишком маленьким, импульсы разрушают углерод, поэтому ширину зазора можно контролировать для получения относительно постоянной щели шириной 5 нм между ними. Поскольку экран необходимо держать в вакууме для работы, на стеклянные поверхности оказывается большое внутреннее давление из-за окружающего атмосферного давления. Поскольку излучатели расположены в вертикальных столбцах, между столбцами есть пространство, где нет люминофора, обычно над линиями питания столбцов. SED используют это пространство для размещения тонких листов или стержней поверх проводников, которые удерживают два стеклянных листа на расстоянии друг от друга. Серия таких листов или стержней используется для усиления экрана по всей его поверхности, что значительно снижает необходимую прочность самого стекла.
История
Canon начала исследования SED в 1986 году. В начале исследований использовались электроды PdO без углеродных пленок сверху, но контроль ширины щели оказался затруднительным. В то время в ранней стадии разработки находилось несколько технологий плоских экранов, и единственной, близкой к коммерциализации, была плазменная панель (PDP), которая имела многочисленные недостатки – высокую стоимость производства и энергопотребление. ЖК-дисплеи не подходили для больших размеров экрана из-за низкого выхода годных и сложного производства. В 2004 году Canon подписала соглашение с Toshiba о создании совместного предприятия для продолжения разработки технологии SED, сформировав "SED Ltd". Toshiba представила новую технологию формирования проводников, лежащих в основе излучателей, используя технологии, адаптированные от струйных принтеров. В то время обе компании утверждали, что производство должно начаться в 2005 году. Как Canon, так и Toshiba начали демонстрировать прототипные устройства на выставках в течение 2006 года, включая 55-дюймовые и 36-дюймовые устройства от Canon и 42-дюймовый модуль от Toshiba. Их широко хвалили в прессе за качество изображения, отмечая, что это "то, что нужно увидеть, чтобы поверить". Однако к этому моменту дата вывода SED на рынок Canon уже несколько раз откладывалась. Изначально заявлялось о запуске производства в 1999 году. Это было перенесено на 2005 год после заключения совместного соглашения, а затем снова на 2007 год после первых демонстраций на CES и других выставках. В октябре 2006 года президент Toshiba объявил о планах компании начать полномасштабное производство 55-дюймовых SED-телевизоров в июле 2007 года на недавно построенном производственном предприятии SED в Химеджи. В декабре 2006 года президент и главный исполнительный директор Toshiba Ацутоси Нисида заявил, что Toshiba намерена к 2008 году начать массовое производство телевизоров SED в сотрудничестве с Canon. Он сообщил, что компания планирует начать мелкосерийное производство осенью 2007 года, но не ожидает, что дисплеи SED станут массовым товаром, и не будет выпускать технологию на потребительский рынок из-за ожидаемой высокой цены, зарезервировав ее исключительно для профессиональных вещательных приложений. Кроме того, в декабре 2006 года стало известно, что одной из причин задержки стал иск, поданный компанией Applied Nanotech против Canon. 25 мая 2007 года Canon объявила, что затянувшийся судебный процесс отложит запуск телевизоров SED, а новая дата запуска будет объявлена позднее. Applied Nanotech, дочерняя компания Nano Proprietary, владеет рядом патентов, связанных с производством FED и SED. Они продали Canon бессрочную лицензию на технологию покрытия, используемую в их новой структуре излучателя на основе углерода. Applied Nanotech утверждала, что соглашение Canon с Toshiba является незаконным трансфером технологий и необходимо заключить отдельное соглашение. Они впервые обратились к этой проблеме в апреле 2005 года. Canon отреагировала на иск рядом действий. 12 января 2007 года компания объявила о покупке всех акций Toshiba в SED Inc. с целью исключить участие Toshiba в этом предприятии. Они также начали переработку существующей патентной заявки RE40,062, чтобы удалить из нее любые технологии Applied Nanotech. Измененный патент был выдан 12 февраля 2008 года. 22 февраля 2007 года Окружной суд США по западному округу Техаса, округ, широко известный своей поддержкой патентообладателей в делах об интеллектуальной собственности, вынес решение о том, что Canon нарушила свое соглашение, создав совместное телевизионное предприятие с Toshiba. Однако 2 мая 2007 года жюри присяжных постановило, что дополнительных убытков сверх $5,5 млн за первоначальный лицензионный контракт не подлежит выплате. 25 июля 2008 года Апелляционный суд США по 5-му округу отменил решение нижестоящего суда и постановил, что "неотзывная и бессрочная" неисключительная лицензия Canon все еще действует и распространяется на реструктурированную дочернюю компанию Canon SED. 2 декабря 2008 года Applied Nanotech отказалась от иска, заявив, что продолжение судебного разбирательства "вероятно, будет бесплодной попыткой". В апреле 2009 года на NAB 2009 Питер Путман заявил: "Меня не раз спрашивали о шансах возвращения SED от Canon, на что я бы не стал делать ставку после провала с лицензированием Nano Technologies. Однако источник в Canon сообщил мне на выставке, что SED все еще активно разрабатывается как технология для профессиональных мониторов. Инженер Canon SED из Японии незаметно осматривал конкурентов в Лас-Вегасском выставочном центре". Canon официально объявила 25 мая 2010 года о прекращении разработки SED-телевизоров для домашнего рынка, но заявила, что продолжит разработку для коммерческих приложений, таких как медицинское оборудование. 18 августа 2010 года Canon приняла решение о ликвидации SED Inc., консолидированной дочерней компании Canon Inc., занимающейся разработкой технологии SED, сославшись на трудности с обеспечением достаточной прибыльности и окончательно похоронив надежды на появление SED-телевизоров в домах.
Патенты
Патент США RE40,062, "Устройство отображения с электронным эмиссионным устройством, имеющим область эмиссии электронов", Seishiro Yoshioka et al./Canon Kabushiki Kaisha, Подано 2 июня 2000 года, Переиздано 12 февраля 2008 года.