Ағылшыншамен салыстырыңыз: абзацты басыңыз — түпнұсқа терезеде ашылады. Абзац астындағы EN түймесі оны мәтін ішінде көрсетеді.
Мазмұны
Кіріспе
Плазмалық кейінді жарқылы (немесе кейінді жарқылы) – иондау көзі алынғаннан кейін плазмадан шығатын сәулелену. Плазманың жарқырауын сақтайтын сыртқы электромагниттік өрістер болмайды немесе разрядты сақтауға жеткіліксіз болады. Плазмалық кейінді жарқылы уақытша – үзілісті (импульстік) плазма көзіне байланысты, немесе кеңістіктік – алыс плазма көзіне байланысты болуы мүмкін. Кейінді жарқылыда плазмада пайда болған бөлшектер энергиясын жояды және тұрақты бөлшектердің түзілуіне бағытталған екінші химиялық реакцияларға қатысады. Газ құрамына байланысты, суперэластикалық соқтығысулар плазма атомдары мен молекулаларының ровиброникалық еркіндік дәрежелерінде сақталған энергияны босату арқылы плазманы кейінді жарқылыда біраз уақытқа дейін сақтап тұруы мүмкін. Әсіресе молекулалық газдарда, плазма химиясы кейінді жарқылыда плазма жарқылынан едәуір өзгеше болады. Плазманың кейінді жарқылы әлі де плазма болып табылады және осылайша плазманың көптеген қасиеттерін сақтайды.
A plasma afterglow (also afterglow) is the radiation emitted from a plasma after the source of ionization is removed. The external electromagnetic fields that sustained the plasma glow are absent or insufficient to maintain the discharge in the afterglow. A plasma afterglow can either be a temporal, due to an interrupted (pulsed) plasma source, or spatial, due to a distant plasma source. In the afterglow, plasma generated species de excite and participate in secondary chemical reactions that tend to form stable species. Depending on the gas composition, super elastic collisions may continue to sustain the plasma in the afterglow for a while by releasing the energy stored in rovibronic degrees of freedom of the atoms and molecules of the plasma. Especially in molecular gases, the plasma chemistry in the afterglow is significantly different from the plasma glow. The afterglow of a plasma is still a plasma and as thus retains most of the properties of a plasma.
Тарих
Плазмалық кейін қалған жарқылықтың алғашқы суреттері 1953 жылы түсірілген. Гелий кейін қалған жарқылығы, кейін қалған жарқылықтың ең көп қолданылатын түрлерінің бірі, алғаш рет 1963 жылы Артур Л. Шмельтекопф және Х. П. Бройда сипаттаған. Алғашқы ағынды кейін қалған жарқылықтағы иондану зерттеулері 1960 жылдардың басында атмосфералық ион химиясын түсіну үшін басталды. Осы уақытқа дейін стационарлық кейін қалған жарқылық зерттеулері жүргізілген, бірақ бұл тәсіл әмбебаптығының жетіспеуімен және дәйектілігінің болмауымен шектелген. 1964 жылға дейін жасалған зерттеулерде атмосфералық реакциялардың әртүрлі зерттеулерде күрт өзгеше реакция жылдамдықтары байқалды. Сондықтан ағынды кейін қалған жарқылық атмосфералық реакциялардың жылдамдық тұрақтыларын дәлірек сипаттау үшін қолданылды.
The first published pictures of plasma afterglow were taken in 1953. Helium afterglow, one of the most commonly used forms of afterglow, was first described in 1963 by Arthur L. Schmeltekopf Jr. and H. P. Broida. The first flowing afterglow ionization studies began in the early 1960s in an effort to understand atmospheric ion chemistry. At the time stationary afterglow studies had already been done however this approach was limited by lack of versatility and lacked consistency as studies done prior to 1964 showed common atmospheric reactions to have drastically differing reaction rates between studies. Flowing afterglow was then used to more precisely describe the rate constants of common atmospheric reactions
Қашықтан басқару плазмасы
Қашықтағы плазма – разрядты тудыратын сыртқы электромагниттік өрістерден кеңістікте бөлінген плазма. Плазма бастапқы плазма көзінен алысқа жіберілсе, онда қалдық газ разряды қашықтықтан плазма болып саналады. Қашықтықтан плазманың уақытша плазмаға қарағанда артықшылығы – оны үздіксіз плазма көзі ретінде қолдануға болады, демек көптеген жүйелерге реагент иондарын беруде кеңірек қолданылады. Қашықтықтан плазмалар, әсіресе, аналитикалық химия саласында иондардың тұрақты ағыны қажет болғанда жиі қолданылады. Сонымен қатар, олар күрделі вакуумдық жүйелерді ажыратусыз тазалау әдісі ретінде де кеңінен таралған.
A remote plasma refers to a plasma that is spatially separated from the external electromagnetic fields that initiate the discharge. An afterglow is a remote plasma if the plasma is channeled away from the original plasma source. An advantage that remote plasma has over temporal plasma is that remote plasma can be used as a continuous plasma source and thus has more applications in supplying reagent ions for most systems. Remote plasmas are often used in the field of analytical chemistry when a constant stream of ions is required. They are also very commonly used a method of cleaning complex vacuum systems without having to take them apart.
Уақытша плазма
Уақытша плазма – плазма көзінен туындайтын, уақыт бойынша шектелген кейін қыздыру (жарық). Қоздыру көзін жою, бастапқы плазманың туындаған кеңістігінде қысқа мерзімге кейін қыздырудың пайда болуын қамтамасыз етеді. Уақытша плазманың қашықтықтан плазмаға қарағандағы артықшылығы – оны жабық жүйеде ұстауға болады, соның арқасында температура мен қысымды басқару оңайлайды. Уақытша плазма көбінесе иондық реакцияларды атмосфералық жағдайда бақыланатын ортада модельдеу үшін қолданылады.
A temporal plasma refers to an afterglow from a plasma source that is time delineated. Removing the source of excitation allows for an afterglow to be present in the same space that the initial plasma was excited for a short time. An advantage that temporal plasma has over remote plasma is that it can be contained in a closed system and thus makes controlling the temperature and pressure is easier. Temporal plasma is often used to replicate ionic reactions in atmospheric conditions in a controlled environment.
Ағып тұрған жарық
Ағып тұратын жарық – инертті газ ағынында, әдетте гелий немесе аргон иондарын жасау үшін қолданылатын иондық көз. Ағып тұратын жарық иондық көздері газдардың қоздырылуы үшін арналған, одан кейін плазмаға айналатын диэлектрлік разрядтан тұрады. Ағып тұратын жарық иондық көздері реакциялық иондарды таңдау үшін таңдалған иондық ағын түтігімен байланыстырылуы мүмкін. Бұл иондық көз массалық спектрометриямен біріктірілгенде, ол ағып тұратын жарық массалық спектрометриясы деп аталады. Ағып тұратын жарық массалық спектрометриясы гелий немесе аргон тасымалдаушы газындағы ағын түтігінде протонды су кластерлік иондарын жасау үшін ағып тұратын жарықты пайдаланады, олар массалық спектрометрмен өлшенетін сынама молекулаларымен әрекеттеседі. Бұл жүйелерді іздік газ талдауы үшін қолдануға болады. Бұл бастапқы иондау көзін анықталатын аналиттен кеңістікте бөлек ұстап, бастапқы иондаудың жарығын аналитке бағыттау арқылы жұмыс істейді. Аналиттер иондық өнімдерді жасау үшін ағыс бойына қосылады. Иондарды анықтау әдетте массалық спектрометр немесе оптикалық спектроскопия арқылы жүзеге асырылады.
A flowing afterglow is an ion source that is used to create ions in a flow of inert gas, typically helium or argon. Flowing afterglow ion sources usually consist of a dielectric discharge that gases are channeled through to be excited and thus made into plasma. Flowing afterglow ion sources can be coupled with a selected ion flow tube for selection of reactant ions. When this ion source is coupled with mass spectrometry it is referred to as flowing afterglow mass spectrometry. Flowing afterglow mass spectrometry uses a flowing afterglow to create protonated water cluster ions in a helium or argon carrier gas in a flow tube that react with sample molecules that are measured by a mass spectrometer downstream. These systems can be used for trace gas analysis. This works by keeping the initial ionization source spatially separated from the target analyte and channeling the afterglow of the initial ionization towards the analyte. Analytes are added downstream to create ion products. Ions Detection of ions is usually accomplished using a mass spectrometer or by optical spectroscopy.
Стационарлық жарық
Стационарлық кейінгі жарқылы (СКЖ) – иондау импульсіне ұшыраған шамның ішіндегі газды қоспадан тұратын қашықтықтанғы плазманы зерттеу әдісі. Аталған иондау импульсінен кейін қоспаның иондық құрамы, оны қамтитын шамның қабырғасында уақытқа қарай өлшенеді. Плазмалық тазалау алыстағы плазма көздерін пайдаланып, кейінгі жарқылы жасап, ол тазартылатын жүйеге жіберіледі, содан кейін кейінгі жарқылының иондары ластанушы заттармен әрекеттеседі. Егер оттегі тасымалдаушы газ ретінде қолданылса, иондалған оттегі түрлері ауыр органикалық қосылыстармен әрекеттесіп, H2O, CO2 және CO түзеді. Бұл өнімдер жүйеден оңай шығарылып, органикалық ластанушы заттарды тиімді түрде жояды. Бұл жүйенің бөлшектеуін қажет етпейді, соның салдарынан жинау-бөлшектеуге кеткен уақытты үнемдейді, ал вакуумдық жүйелерде жүйенің қысымын өзгертуге кеткен уақытты да қысқартады. Бұл плазмалық тазалау әдісі, әсіресе химиялық бумен жабындау әдістерінде тиімді, онда тазалық өнімділіктің маңызды бөлігін құрайды.
Stationary afterglow (SA) is a technique for studying remote plasma that consist of a gaseous mixture inside a bulb that is subjected to an ionizing pulse. After said ionizing pulse the ion composition of the mixture is measured as a function of time at the wall of the containing bulb. Plasma cleaning uses remote plasma sources to generate an afterglow that is ventilated into the system to be cleaned and then the afterglow ions react with the contaminants. When oxygen is used as the carrier gas, ionized oxygen species react with heavier organic compounds to form H2O, CO2, and CO. These products are then easily vented from the system effectively removing organic contaminants from the system. This provides the advantage of not having to take systems apart and thus saves time on disassembly and on vacuum systems it saves time changing the pressure of the system. This plasma cleaning method is especially effective for chemical vapor deposition methods where cleanliness is a key part of productivity.