Кіріспе

Open Artwork System Interchange Standard (OASIS) – фотомаска өндірісі үшін дерек құрылымдарын сипаттауға арналған бинарлық файл форматы. Ол интегралдық схемаларды жобалау барысында жасалған иерархиялық интегралдық схема маскасының орналасуы туралы ақпаратты алмасу және қаптау форматының үлгісін көрсетеді, бұл ақпарат фотомасканы өндіру үшін пайдаланылады. Стандартты SEMI әзірледі. Тіл тіктөртбұрыштар, трапециялар және көпбұрыштар сияқты геометриялық пішіндер үшін қажетті кодты анықтайды. Ол әр пішіннің қандай қасиеттері болатынын, оларды осы пішіндерден жасалған үлгілерді қамтитын жасушаларға қалай жинақтауға болатынын және оларды бір-біріне қатысты қалай орналастыруға болатынын белгілейді. Бұл GDSII форматына ұқсас. 2023 жылғы мәлімет бойынша, SEMI мүшелері үшін стандарттың құны 252 доллар, ал мүше емес кез келген адам үшін 335 долларға белгіленген.

Кіріспе

OASIS – интегралды схемаларды жобалау және электрондық үлгілерді жасау тілі GDSII-нің ізбасары деп есептеледі. GDSII 1970-ші жылдары жасалған, сол кезде интегралды схемалардың жүз мыңдаған геометриялық пішіндері, қасиеттері мен орналасуларын басқару қажет болды. Бүгінде миллиардтаған пішіндер, қасиеттер және орналасуларды басқаруға тура келеді. GDSII форматындағы файлдар көбінесе ондаған гигабайт сақтау көлемін алады және оларды сақтау мен өңдеу қиынға соғады. OASIS жасаушылары мен қолданушылары жұмыс станцияларының деректерді сақтау және өңдеу мүмкіндіктерінің өсуі интегралды схемалардың күрделілігінің өсуінен қалып қойғанын айтты. Сондықтан OASIS, геометриялық пішіндердің күрделі түрлерін (мысалы, тек 25 түрлі трапеция) енгізу арқылы деректердің көлемін азайтуға тырысып, GDSII файлдарының үлкен көлеміне байланысты туындаған мәселені шешуге көмектеседі. Сонымен қатар, координаттар үшін өзгермелі ұзындығы бар сандық формат (Run length encoding-ке ұқсас) жүзеге асырылды. Соңында, OASIS файлындағы әрбір жасуша gzip сияқты алгоритммен тәуелсіз түрде қысылуы мүмкін. OASIS форматын жасау жұмысы 2001 жылдың маусымында басталды. 1.0 нұсқасы 2004 жылдың наурыз айында жарық көрді. Оны қолдану үшін GDSII оқырмандары мен жазуларымен жабдықталған жабдықтарға қосылатын жаңа OASIS оқырмандары мен жазуларын жасау қажет болды. Оның қабылдануы АҚШ, Жапония, Тайвань, Корея және Еуропа елдерінің интегралды схемаларды жобалау, жабдықтар, фотомаскалар, fabless компаниялары, үшінші тараптың зияткерлік меншігі (ЗМ) және өндіріс компанияларының бірлескен күш-жігерінің нәтижесінде болды. OASIS.MASK деп аталатын OASIS-тің шектеулі нұсқасы, үлгі жасау машиналары және инспекциялық жүйелер сияқты жартылай өткізгіш фотомаскаларды өндіру жабдықтарының ерекше қажеттіліктерін қанағаттандырады. OASIS және OASIS.MASK екеуі де өнеркәсіптік стандарттар болып табылады.

Өнеркәсіптік стандарт

OASIS және OASIS. MASK енді ресми өнеркәсіптік стандарттар болып табылады. Екеуі де сауда және стандарттау ұйымы SEMI-ге тиесілі және олардың күтімі осы ұйымда. SEMI бүкіл әлем бойынша жартылай өткізгіш материалдар және жабдықтар салаларына қызмет көрсетеді. SEMI P39 OASIS және SEMI P44 OASIS. MASK үшін ақы төленетін талаптар SEMI веб-сайтынан жүктеуге болады.