Введение

Open Artwork System Interchange Standard (OASIS) — это двоичный формат файла, используемый для спецификации структур данных при производстве фотомасок. Он предназначен для представления шаблонов, а также служит форматом обмена и инкапсуляции иерархической информации о масках интегральных схем, создаваемой в процессе проектирования, и используемой впоследствии для изготовления фотомасок. Стандарт разработан SEMI. Язык определяет коды, необходимые для геометрических фигур, таких как прямоугольники, трапеции и многоугольники, определяет типы свойств, которыми они могут обладать, способы их организации в ячейки, содержащие шаблоны, созданные из этих фигур, и определяет взаимное расположение этих ячеек. Он аналогичен GDSII. По состоянию на 2023 год стоимость стандарта для членов SEMI составляла 252 доллара США, а для нечленов — 335 долларов США.

Введение

OASIS является заявленным коммерческим преемником языка описания электронных шаблонов для проектирования и производства интегральных схем GDSII. GDSII был разработан в 1970-х годах, когда проекты интегральных схем содержали несколько сотен тысяч геометрических фигур, свойств и размещений, которыми необходимо было управлять. Сегодня количество фигур, свойств и размещений может достигать миллиардов. Файлы формата GDSII часто занимают десятки гигабайт памяти и сложны в хранении и обработке. Создатели и пользователи OASIS утверждали, что рост возможностей хранения и обработки данных рабочих станций значительно отставал от роста сложности компоновки интегральных схем. Поэтому OASIS призван решить проблему большого размера файлов GDSII путем введения сложных типов геометрических фигур (только 25 типов трапеций) для уменьшения объема данных. Также был реализован числовой формат переменной длины (аналогичный кодированию длин серий) для координат. Наконец, каждая ячейка в файле OASIS может быть сжата независимо с использованием алгоритма, подобного gzip. Работа над созданием формата OASIS началась в июне 2001 года, а выпуск версии 1.0 состоялся в марте 2004 года. Его использование потребовало разработки новых программ для чтения и записи файлов OASIS, которые можно было бы интегрировать с оборудованием для проектирования и производства, уже оснащенным программами для чтения и записи GDSII. Его внедрение стало результатом совместных усилий компаний, занимающихся проектированием интегральных схем, производством оборудования, изготовлением фотомасок, разработкой заказных микросхем (fabless), интеллектуальной собственности (IP) сторонних разработчиков и производством, из США, Японии, Тайваня, Кореи и Европы. Усеченная версия OASIS, называемая OASIS.MASK, предназначена для удовлетворения специфических потребностей оборудования для производства полупроводниковых фотомасок, такого как генераторы рисунков и системы контроля. OASIS и OASIS.MASK являются отраслевыми стандартами.

Промышленный стандарт

ОАЗИС и ОАЗИС. MASK теперь являются общепринятыми отраслевыми стандартами. Оба стандарта принадлежат и поддерживаются торговой и стандартизационной организацией SEMI. SEMI обслуживает индустрию полупроводниковых материалов и оборудования по всему миру. Платные спецификации SEMI P39 OASIS и SEMI P44 OASIS. MASK можно загрузить с веб-сайта SEMI.