Кіріспе

Жазық емес транзистордың түрі, желбезек пішіндес өріс эффектісі транзисторы

Желбезек өріс эффектісі транзисторы (FinFET) – көп қақпалы құрылғы, металл-оксид-жартылай өткізгіш өріс эффектісі транзисторы (MOSFET), қақпасы арнаның екі, үш немесе төрт жағына орналастырылған немесе арнаның айналасына оралған, екі немесе тіпті көп қақпалы құрылымды құрайтын негізге орнатылған. Бұл құрылғылар кремний бетіндегі бастапқы/ағызу аймағы желбезек пішіндес болғандықтан "FinFET" деген жалпы атау алды. FinFET құрылғылары жазық CMOS (қосымша металл-оксид-жартылай өткізгіш) технологиясына қарағанда едәуір жылдамрақ ауысу уақытына және жоғары ток тығыздығына ие. FinFET – жазық емес транзистордың, яғни "3D" транзистордың бір түрі. Бұл қазіргі заманғы наноэлектрондық жартылай өткізгіш құрылғыларын жасаудың негізі болып табылады. FinFET қақпаларын пайдаланатын микрочиптер алғаш рет 2010 жылдың бірінші жартысында коммерцияланды және 14 нм, 10 нм және 7 нм технологиялық процестерде басым қақпа дизайны болды. Бір FinFET транзисторында бір-біріне қатар орналасқан және барлығы бір қақпамен жабылған бірнеше желбезек болуы мүмкін, олар электрлік тұрғыдан біртұтас жұмыс істейді. Желбезектердің санын өзгерту арқылы өткізу қабілетін және өнімділікті реттеуге болады, желбезек саны артық болған сайын өткізу қабілеті де артады.

Коммерциялық мақсатта пайдалану

2002 жылдың желтоқсан айында TSMC компаниясы 0,7 вольттан жұмыс істейтін 25 нанометрлік транзисторды көрсетті. "Омега FinFET" конструкциясы, грек әрпі "Омега" мен қақпаның көз/дренаж құрылымын айналып өтетін пішіні арасындағы ұқсастықтан аталған, N типіндегі транзистор үшін қақпаның кешігуі 0,39 пикосекунд (ps) және P типіндегі үшін 0,88 ps құрады. 2004 жылы Samsung "Bulk FinFET" дизайнын көрсетті, бұл FinFET құрылғыларын жаппай өндіруге мүмкіндік берді. Олар 90 нм-лік Bulk FinFET процесімен жасалған динамикалық кездейсоқ сәйкес жадты (DRAM) көрсетті. 22 нм және одан төменгі коммерциялық өндірістегі чиптер көбінесе FinFET қақпаларын пайдаланады (бірақ жазық процестер 18 нм-ге дейін, ал 12 нм-ге дейін дамытылуда). Intel компаниясының үш қақпалы нұсқасы 2011 жылы Ivy Bridge микроархитектурасы үшін 22 нм-де жарияланды. Бұл құрылғылар 2012 жылдан бастап жеткізіле бастады. 2014 жылдан бастап 14 нм (немесе 16 нм) ірі құю фабрикалары (TSMC, Samsung, GlobalFoundries) FinFET дизайндарын қолданды. 2013 жылы SK Hynix 16 нм процесін коммерциялық жаппай өндіруді бастады, TSMC 16 нм FinFET процесін өндіруді бастады, ал Samsung Electronics 10 нм процесін өндіруді бастады. TSMC 2017 жылы 7 нм процесін, ал Samsung 2018 жылы 5 нм процесін өндіруді бастады. 2019 жылы Samsung 3 нм GAAFET процесін 2021 жылға қарай коммерциялық өндіріске шығару жоспарларын жариялады. FD SOI (Fully Depleted Silicon On Insulator) FinFET-ке қарағанда төмен құнмен балама ретінде қарастырылды. Наноэлектрондық FinFET жартылай өткізгіш жадының коммерциялық өндірісі 2010 жылдары басталды. 2013 жылы SK Hynix 16 нм NAND флэш-жадының жаппай өндірісін бастады, ал Samsung Electronics 10 нм көп деңгейлі жасушалы (MLC) NAND флэш-жадының өндірісін бастады. 2017 жылы TSMC 7 нм процесін пайдаланып SRAM жадының өндірісін бастады.