Кіріспе

Өрістік эффект транзисторының түрі – транзистор.

Ионға сезімтал өрістік эффект транзисторы (ISFET) – ерітіндідегі иондық концентрацияны өлшеуге қолданылатын өрістік эффект транзисторы. Иондық концентрация (мысалы, H+, pH шкаласына қараңыз) өзгергенде, транзистор арқылы өтетін ток сәйкесінше өзгереді. Бұл жерде ерітінді қақпа электроды ретінде қолданылады. Субстрат және оксид беттері арасындағы кернеу иондық қабық пайда болуының нәтижесінде туындайды. Бұл – металл-оксид-жартылайөткізгіш өрістік эффект транзисторының (MOSFET) ерекше түрі, және олардың негізгі құрылымы бірдей, бірақ металл қақпа ионға сезімтал мембранамен, электролит ерітіндісімен және эталондық электродпен алмастырылған. 1970 жылы ойлап табылған ISFET – алғашқы биосенсорлық FET (BioFET) болды. Қақпа материалдарының Si–OH тобының беттік гидролизі pH мәніне байланысты сулы ерітінділерде өзгереді. Қақпа үшін қолданылатын типолық материалдар – SiO2, Si3N4, Al2O3 және Ta2O5. Оксид бетіндегі зарядты қамтамасыз ететін механизмді Si–OH бетіндегі орындар мен ерітіндідегі H+ иондары арасындағы тепе-теңдікті сипаттайтын орынға байланыстыру моделі арқылы түсіндіруге болады. SiO2 сияқты оксид бетін жабатын гидроксилдік топтар протонды беруге немесе қабылдауға қабілетті, сондықтан оксид-электролит интерфейсінде жүретін келесі қышқыл-негіздік реакциялар арқылы көрсетілгендей, амфотерлік қасиет көрсетеді:

—Si–OH + H2O ↔ —Si–O− + H3O+

—Si–OH + H3O+ ↔ —Si–OH2+ + H2O

ISFET-тің бастауышы мен шығысы MOSFET сияқты құрылады. Қақпа электроды каналдан сутегі иондарына сезімтал кедергімен және сыналынатын заттың сезімтал кедергіге жанасуына мүмкіндік беретін аралықпен бөлінеді. ISFET-тің шекті кернеуі оның ионға сезімтал кедергісімен жанасқан заттың pH-ына тәуелді болады.

Бағалау электродына байланысты практикалық шектеулер

Ерітіндінің pH-ін өлшеу үшін H+ концентрациясына сезімтал ISFET электродын дәстүрлі шыны электрод ретінде қолдануға болады. Дегенмен, оның жұмыс істеуі үшін эталондық электрод та қажет. Егер ерітіндімен тікелей жанасатын эталондық электрод AgCl немесе Hg2Cl2 классикалық типі болса, ол дәстүрлі pH электродтарының ұшырауымен бірдей шектеулерге ие болады (қосылыс потенциалы, KCl ағуы және гельдік электродтарда глицериннің ағуы). Кәдімгі эталондық электрод көлемді және сынғыш болуы мүмкін. Классикалық эталондық электродпен шектелген тым үлкен көлем ISFET электродын кішірейтуге кедерілді етеді, бұл кейбір биологиялық немесе in vivo клиникалық талдаулар үшін қажетті ерекшелік (бір рет қолданылатын мини-катетерлік pH зонды). Дәстүрлі эталондық электродтың істен шығуы фармацевтикалық немесе тамақ өнеркәсібінде онлайн өлшемдер жасау кезінде мәселе тудыруы мүмкін, егер өндірістің соңғы сатысында электрод қалдықтарымен немесе уытты химиялық қосылыстармен жоғары құнды өнімдер ластанса және қауіпсіздік үшін оларды жоюға тура келсе. Осы себепті, 20 жылдан бері көптеген зерттеулер микросхемаға енгізілген кішкентай эталондық өріс эффектілік транзисторларға (REFET) бағытталған. Олардың жұмыс принципі немесе жұмыс режимі электрод өндірушілеріне байланысты өзгеруі мүмкін және көбінесе патенттермен қорғалады. REFET үшін қажетті жартылай өткізгішпен өзгертілген беттер әрқашан сынақ ерітіндісімен термодинамикалық тепе-теңдікте болмайды және агрессивті немесе араласатын еріген заттарға немесе жақсы сипатталмаған қартаю құбылыстарына сезімтал болуы мүмкін. Егер электродты белгілі бір уақыт аралығында жиі қайта калибрлеуге болып, оның қызмет ету мерзімі ішінде оңай күтіп ұстауға болып жатса, бұл үлкен проблема емес. Алайда, егер электрод ұзақ уақыт бойы онлайн күйде қалуы керек болса немесе өлшемдердің ерекшеліктеріне байланысты қол жеткізу қиын болса (қатаң ортадағы жоғары су қысымындағы немесе атмосфералық оттегінің кіруімен немесе қысымның өзгеруімен оңай бұзылатын аноксиялық немесе тотығу жағдайларындағы геохимиялық өлшемдер), бұл мәселе тудыруы мүмкін. Осылайша, ISFET электроды үшін, дәстүрлі шыны электродтар сияқты, эталондық электрод маңызды фактор болып қала береді. Электродтың жұмысындағы ақауларды жою кезінде көбінесе мәселелерді эталондық электродтың жағынан іздеу қажет.

ISFET-тің төменгі жиілікті шуы

ISFET негізделген сенсорлар үшін төмен жиілікті шу жалпы SNR үшін ең зиянды, себебі ол бірдей жиілік диапазонында орналасқан биомедициналық сигналдарға бөгдел болуы мүмкін. Шудың негізгі үш көзі бар. ISFET-тен тыс шу көздері сыртқы шу деп аталады, мысалы, қоршаған ортаның әсері және терминалдан оқылған тізбектерден туындаған құрал шуы. Ішкі шу ISFET-тің қатты бөлігінде пайда болатын шу, ол негізінен Оксид/Si интерфейсіндегі заряд тасымалдаушыларының тұтқындалуынан және босатылуынан туындайды. Ал сыртқы шу көбінесе сұйықтық/оксид интерфейсіндегі ион алмасудан туындайды. ISFET шуын жою үшін көптеген әдістер ойлап табылды. Мысалы, сыртқы шуды жою үшін біз ISFET-ке біполярлы тоқпен қосылған транзисторды интеграциялап, ағым тогының ішкі күшейтілуін дереу іске асыруға болады. Сонымен қатар, ішкі шуды жою үшін шулы оксид/Si интерфейсін Шоттки торабымен алмастыруға болады.

Тарих

ISFET-тің негізі – MOSFET. Голландиялық инженер Пит Бергвельд Твенте университетінде MOSFET-ті зерттеді және оны электрохимиялық және биологиялық қолданбаларға арналған сенсор ретінде пайдалануға болатынын анықтады. ISFET сенсорларын CMOS (толықтырылған MOS) технологиясын қолданатын интегралды схемаларда енгізуге болады. ISFET құрылғылары биомедициналық саласында кеңінен қолданылады, мысалы, ДНК гибридтеуін анықтау, қаннан биомаркерлерді іздеу, антиденелерді анықтау, глюкоза деңгейін өлшеу және pH-ты сезу. ISFET кейінірек генетикалық технологияда қолданылатын ДНК өрістік эффекті транзисторы (DNAFET) сияқты BioFET-тердің де негізі болып табылады.