Кіріспе

"32 нм" торабы CMOS (MOSFET) жартылай өткізгіш құрылғысын жасаудағы "45 нм" процесінен кейінгі кезең. "32 нанометр" осы технология деңгейіндегі жад жасушасының орташа жарты арақашықтығын (яғни бірдей элементтер арасындағы қашықтықтың жартысы) білдіреді. Toshiba компаниясы 2009 жылы "32 нм" процесімен коммерциялық 32GiB NAND флэш жад микросхемаларын шығарды. Intel және AMD 2010 жылдардың басында "32 нм" процесін пайдаланып коммерциялық микрочиптер шығарды. IBM және Common Platform сондай-ақ "32 нм" жоғары κ металл қақпа процесін әзірледі. Intel өзінің алғашқы "32 нм" процессорларын 2010 жылдың 7 қаңтарында Westmere архитектурасын қолдана отырып сатуға бастады. Кем дегенде 1997 жылдан бері "процесс тораптары" тек маркетингтік мақсатта аталады және интегралды схеманың өлшемдерімен ешқандай байланысы жоқ; "32 нм" құрылғысындағы қақпа ұзындығы, металл арақашықтығы және қақпа арақашықтығының ешқайсысы отыз екі нанометрге тең емес. "28 нм" торабы "32 нм" процесіне негізделген аралық жартылай тораптың өлшемдерін қысқарту болып табылады. "32 нм" процесі 2012 жылы коммерциялық "22 нм" технологиясымен ығыстырылды.

Технологиялық демонстрациялар

"32 нм" технологиясын қолданатын прототиптер алғаш рет 2000-шы жылдардың ортасында пайда болды. 2004 жылы IBM бір қабатта электронды сәулелі литография және фотолитографияны қолдана отырып, 135 нм полигейттік қадамы бар 0,143 мкм² SRAM жасушасын көрсетті. Осындай кішкентай масштабта жасушаның кіріс кернеуінің өзгеруіне сезімталдығы айтарлықтай төмендегені байқалды. 2006 жылдың қазан айында Университеттер аралық микроэлектроника орталығы (IMEC) қос үлгілеу және суға батыру литографиясы негізінде 32 нм жарық үлгілеу мүмкіндігін көрсетті. Жад жасушасының аумағын азайту үшін қос үлгілеуді және гипер NA құралдарын енгізу қажеттілігі 45 нм түйінен осы түйінге көшудің кейбір экономикалық артықшылықтарын жойды. TSMC 2005 жылы "32 нм" түйініндегі 0,183 мкм² алты транзисторлы SRAM жасушасын өндіру үшін суға батыру литографиясымен біріктірілген қос үлгілеуді де қолданды. Intel корпорациясы өзінің алғашқы "32 нм" сынақ чиптерін 2007 жылдың 18 қыркүйегінде Intel Developer Forum-да жұртшылыққа таныстырды. Сынақ чиптерінің жасуша өлшемі 0,182 мкм² болды, екінші буынның жоғары κ қақпалық диэлектригі және металл қақпасы қолданылды, және шамамен екі миллиард транзистордан тұрды. Критикалық қабаттар үшін 193 нм суға батыру литографиясы, ал аз маңызды қабаттар үшін 193 нм немесе 248 нм құрғақ литографиясы қолданылды. Критикалық қадам 112,5 нм болды. 2011 жылдың қаңтар айында Samsung 30 нм мен 39 нм аралығындағы технологиялық өлшемді пайдалана отырып, өнеркәсіптегі алғашқы DDR4 SDRAM модулін әзірлеуді аяқтады. Модуль 1,2 В кернеуде 2,133 Гбит/с деректерді беру жылдамдығына қол жеткізе алады, бұл 1,35 В және 1,5 В DDR3 DRAM-мен салыстырғанда, эквивалентті "30 нм классындағы" технологиялық процесте 1,6 Гбит/с жылдамдыққа тең. Модульде псевдо-ашық дренаж (POD) технологиясы қолданылды, ол DDR4 SDRAM-ға деректерді оқу және жазу кезінде DDR3-тің тұтынатын тоқтың жартысын ғана пайдалануға мүмкіндік беретіндей етіп арнайы бейімделген.

"32 нм" технологиясын пайдаланатын процессорлар

Intel компаниясының 2010 жылғы қаңтарда шыққан Core i3 және i5 процессорлары "32 нм" технологиясын қолданған алғашқы жаппай өндірілген процессорлардың бірі болды. Intel компаниясының екінші буын Core процессорлары, Sandy Bridge кодолық атауымен, сондай-ақ "32 нм" өндіріс процесін қолданды. Intel-дің Gulftown кодолық атауымен 6 ядролық процессоры Westmere архитектурасына негізделген, 2010 жылғы 16 наурызда Core i7 980x Extreme Edition ретінде шығарылды, бұл процессордың бағасы шамамен 1000 АҚШ доллары болды. Intel-дің төменгі деңгейлі 6 ядролық процессоры, i7 970, 2010 жылғы шілде айының соңында, шамамен 900 АҚШ долларына сатылды. Intel-дің "32 нм" процесінің транзистор тығыздығы бір шаршы миллиметрге (МТр/мм2) 7,11 миллион транзисторға жетеді. AMD де 2010 жылдардың басында "32 нм" SOI процессорларын шығарды. AMD-нің Zambezi кодолық атауымен FX сериялы процессорлары AMD-нің Bulldozer архитектурасына негізделген, 2011 жылғы қазан айында нарыққа ұсынылды. Бұл технологияда "32 нм" SOI процесі, модульге екі CPU ядросы және төрт модульге дейін қолданылды, төрт ядролық дизайнының бағасы шамамен 130 АҚШ доллары, ал сегіз ядролық дизайны – 280 долларға бағаланды. 2011 жылғы қыркүйекте Ambarella Inc. компаниясы 1080p60 ажыратымдылығындағы бейнеге түсіру мүмкіндігін ұсынатын цифрлық камераларға арналған чип жинағында "32 нм" негізіндегі A7L жүйесінің қолжетімділігін жариялады.

28 нм және 22 нм

"32 нм" технологиясының ізбасары – жартылай өткізгіштердің халықаралық технологиялық жол картасына сәйкес, "22 нм" түйіні болды. Intel компаниясы 2011 жылдың соңында "22 нм" жартылай өткізгіштерін жаппай өндіруді бастап, 2012 жылдың сәуірінде алғашқы коммерциялық "22 нм" құрылғыларын шығарғанын хабарлады. TSMC "32 нм" түйінін өткізіп кете, 2008 жылы "40 нм" -ден тікелей 2011 жылы "28 нм" -ге көшті.