Кіріспе

Монолиттік микротолқынды интегралдық схема, немесе MMIC (кейде "мимик" деп айтылады) – микротолқынды жиіліктерде (300 МГц-тан 300 ГГц-қа дейін) жұмыс істейтін интегралдық схема (IC) құрылғысының бір түрі. Бұл құрылғылар әдетте микротолқынды араластыру, қуатты күшейту, аз шулы күшейту және жоғары жиілікті коммутация сияқты функцияларды орындайды. MMIC құрылғыларының кіріс және шығыстары көбінесе 50 Омдық сипаттамалық кедергіге сәйкес келеді. Бұл оларды қолдануды жеңілдетеді, себебі MMIC-терді тізбектеу үшін сыртқы сәйкестендіру желісі қажет болмайды. Сонымен қатар, көптеген микротолқынды сынақ құралдары 50 Омдық ортада жұмыс істеуге арналған. MMIC-тердің габариттері кішкентай (шамамен 1 мм²-ден 10 мм²-ге дейін) және оларды жаппай өндіруге болады, бұл ұялы телефондар сияқты жоғары жиілікті құрылғылардың кең таралуына әкелді. MMIC бастапқыда III-V тобына жататын қосымша жартылай өткізгіш галлий арсениді (GaAs) арқылы жасалған. Оның кремнийге (Si) қарағанда екі маңызды артықшылығы бар, ол IC жасау үшін дәстүрлі материал болып табылады: құрылғы (транзистор) жылдамдығы және жартылай оқшаулағыш негіз. Екі фактор да жоғары жиілікті тізбектерді жобалауға көмектеседі. Дегенмен, Si негізіндегі технологиялардың жылдамдығы транзисторлардың өлшемдері кішірейген сайын артты және MMIC-терді Si технологиясымен де жасауға болады. Кремний технологиясының басты артықшылығы – GaAs-қа қарағанда өндіріс құнының төмендігі. Кремний пластиналарының диаметрі үлкен (әдетте 8"-дан 12"-ға дейін, GaAs үшін 4"-дан 8"-ға дейін) және пластинаның құны төмен, бұл арзан IC жасауға мүмкіндік береді. Алғашқыда MMIC-терде металл-жартылай өткізгіш өрістік эффектті транзисторлар (MESFET) белсенді құрылғы ретінде қолданылған. Соңғы кезде жоғары электронды жылдамдықты транзисторлар (HEMT), псевдоморфты HEMT және гетерожүктемелі биполярлы транзисторлар кеңінен қолданылуда. Басқа III-V технологиясы, мысалы, индий фосфиді (InP), GaAs-қа қарағанда жоғары күшейту коэффициенті, жоғары кесу жиілігі және төмен шу деңгейі сияқты артықшылықтарды ұсынады. Алайда, олар кішкентай пластиналардың мөлшері мен материалтың нашарлауына байланысты көбінесе қымбатқа түседі. Кремний-германий (SiGe) – Si негізіндегі қосымша жартылай өткізгіш технологиясы, ол дәстүрлі Si құрылғыларына қарағанда жылдамдығы жоғары транзисторларды ұсынады, бірақ шығын бойынша ұқсас артықшылықтарға ие. Галлий нитриді (GaN) де MMIC үшін қолданылуға болады. GaN транзисторлары GaAs транзисторларына қарағанда әлдеқайда жоғары температурада және жоғары кернеуде жұмыс істей алатындықтан, олар микротолқынды жиіліктерде қуат күшейткіштері үшін өте қолайлы.