Введение

Технология полупроводников

Биполярная CMOS (BiCMOS) – это технология полупроводников, объединяющая две технологии: биполярный транзистор и логический элемент CMOS (комплементарный металл-оксид-полупроводник) в одной интегральной схеме. В последнее время биполярные процессы были расширены для включения устройств с высокой подвижностью, использующих кремниево-германиевые переходы. Биполярные транзисторы обеспечивают высокую скорость, высокий коэффициент усиления и низкий выходной импеданс при относительно высоком энергопотреблении на устройство, что делает их отличными для высокочастотных аналоговых усилителей, включая малошумящие радиочастотные (РЧ) усилители, использующие всего несколько активных элементов. В то же время технология CMOS предлагает высокий входной импеданс и идеально подходит для создания большого количества логических элементов с низким энергопотреблением. В процессе BiCMOS профиль легирования и другие технологические особенности могут быть оптимизированы в пользу CMOS или биполярных устройств. Например, GlobalFoundries предлагает базовый 180-нм процесс BiCMOS7WL и несколько других процессов BiCMOS, оптимизированных различными способами. Эти процессы также включают этапы осаждения прецизионных резисторов, высокодобротных РЧ-индукторов и конденсаторов на кристалле, которые не требуются в чисто CMOS-логической схеме. BiCMOS предназначен для интегральных схем смешанного сигнала, таких как АЦП и полные системы программно-определяемого радио на чипе, которым необходимы усилители, аналоговые схемы управления питанием и логические элементы на чипе. BiCMOS имеет определенные преимущества в обеспечении цифровых интерфейсов. В схемах BiCMOS используются характеристики каждого типа транзистора наиболее подходящим образом. Как правило, это означает, что для эффективного управления схемами с высоким током, такими как регуляторы питания на чипе, используются полевые металл-оксидные транзисторы (MOSFET), а для "моря логики" – традиционные структуры CMOS, в то время как в специализированных высокопроизводительных схемах, таких как делители частоты ECL и малошумящие усилители (LNA), используются биполярные устройства. Примеры включают РЧ-генераторы, источники опорного напряжения на основе полосы запрещения и малошумящие схемы. Микропроцессоры Pentium, Pentium Pro и SuperSPARC также используют BiCMOS.

Недостатки

Некоторые преимущества технологии КМОП, например, очень низкая стоимость при массовом производстве, не применимы напрямую к технологии BiCMOS. Основная сложность заключается в том, что оптимизировать как биполярные, так и МОП-компоненты процесса одновременно невозможно без добавления множества дополнительных технологических этапов, что приводит к увеличению стоимости производства и снижению выхода годных. Кроме того, в области высокоскоростной логики BiCMOS, вероятно, никогда не сможет обеспечить такое же низкое энергопотребление, как технологический процесс, оптимизированный исключительно для КМОП, из-за потенциально более высокого тока утечки в режиме ожидания.