Введение

Измеритель Маклеода — это научный прибор, используемый для измерения очень низких давлений, вплоть до 10−6 Торр (0,133 мПа). Он был изобретен в 1874 году Гербертом Маклеодом (1841–1923). Измерители Маклеода ранее часто встречались в составе оборудования, работающего под вакуумом, например, лиофилизаторов. Однако сегодня эти приборы в значительной степени заменены электронными вакуумными датчиками. Конструкция измерителя Маклеода в некоторой степени напоминает конструкцию ртутного манометра. Обычно он заполнен ртутью. При неправильном использовании эта ртуть может вытечь и загрязнить вакуумную систему, подключенную к измерителю. Измерители Маклеода работают, захватывая определенный объем газа из вакуумной камеры, а затем сжимая его путем наклона и заполнения ртутью. Давление в этом уменьшенном объеме затем измеряется ртутным манометром, и, зная степень сжатия (отношение начального и конечного объемов), давление исходного вакуума можно определить, применяя закон Бойля. Этот метод достаточно точен для не конденсирующихся газов, таких как кислород и азот. Однако конденсирующиеся газы, такие как водяной пар, аммиак, углекислый газ и пары масла из насоса, могут находиться в газообразном состоянии при низком давлении в вакуумной камере, но будут конденсироваться при сжатии в измерителе Маклеода. В результате получается неверное показание, показывающее давление значительно ниже фактического. Холодная ловушка может использоваться совместно с измерителем Маклеода для конденсации этих паров до их попадания в прибор. Преимущество измерителя Маклеода заключается в том, что его калибровка практически одинакова для всех не конденсирующихся газов. Устройством можно управлять вручную, а показания шкалы считываются визуально, или процесс можно автоматизировать различными способами. Например, небольшой электродвигатель может периодически вращать сборку для отбора пробы газа. Если в капилляре находится тонкая платиновая проволока, ее сопротивление указывает на высоту ртутного столба вокруг нее. Современные электронные вакуумные датчики проще в использовании, менее хрупкие и не представляют ртутной опасности, но их показания сильно зависят от химической природы измеряемого газа, а их калибровка нестабильна. По этой причине измерители Маклеода продолжают использоваться в качестве эталонного стандарта для калибровки электронных датчиков.