Введение
Вакуумный фланц - это фланц на конце трубки, используемый для соединения вакуумных камер, труб и вакуумных насосов друг с другом. Вакуумные фланцы используются для научных и промышленных применений, чтобы различные части оборудования взаимодействовали через физические соединения и для поддержания вакуума, мониторинга и манипулирования из-за пределов вакуумной камеры. Существует несколько стандартов фланцев с различиями в предельно достижимом давлении, размере и легкости крепления.
Типы вакуумных фланцев
Существует несколько стандартов вакуумных фланцев, и одни и те же типы фланцев называются разными названиями разными производителями и организациями по стандартизации.
Уиллер
Фланцевая решетка - это крупная решетка для уплотнения проволоки, часто используемая в больших вакуумных камерах.
Американская ассоциация по стандартизации (ASA)
Стандарт фланцев, популяризированный в Соединенных Штатах, кодифицирован Американским национальным институтом стандартов (ANSI), и иногда также называется в честь предыдущего названия организации, Американской ассоциации стандартов (ASA). Эти фланцы имеют эластомерные кольцевые уплотнения и могут использоваться как в вакуумных, так и в нагнетаемых условиях. Размеры фланцев указываются по номинальному внутреннему диаметру трубки (конвенция по наименованию ANSI) или по внешнему диаметру фланца в дюймах (конвенция по наименованию ASA). Номинальный внутренний диаметр/ANSI Внешний диаметр фланца [дюймы]/ASA 1 4.25 1.5 5 2 6 3 7.5 4 9 6 11 8 13.5 10 16
Вакуумные прокладки
Для достижения вакуумной герметизации требуется прокладка. Эластомерная кольцевая прокладка может быть изготовлена из каучука Buna, флюорополимера витона, силиконовой каучука или тефлона. О-кольца могут быть помещены в канаву или могут использоваться в сочетании с центрирующим кольцом или в качестве "задержанного" о-кольца, которое удерживается на месте отдельными металлическими кольцами. Металлические прокладки используются в системах сверхвысокого вакуума, где выделение газов из эластомера может быть значительной газовой нагрузкой. С конфлатинными фланцами используется медная кольцевая прокладка. Можно использовать металлические проволочные прокладки из меди, золота или индия.
Пропускная способность вакуума
Вакуумный впуск - это фланцевая решетка, содержащая электрическое, физическое или механическое соединение с вакуумной камерой, не допускающее проникновение в нее. Электрическая вводная линия позволяет применять напряжение к компонентам в вакууме, например, к нити или нагревателю. Примером физического пропуска является вакуумно-плотный соединение для охлаждения воды. Для вращения и перемещения компонентов в вакууме используется механический ввод. Колебательная палочка - это механическое устройство, которое может использоваться для поднятия, перемещения и иного манипулирования объектами в вакуумной камере.