Кіріспе

Далалық эффекті транзистордың (FET) тоқ өткізуі үшін қажетті, бастапқы және қақпалық шикізат арасындағы ең төменгі кернеу.

Далалық эффекті транзистордың (FET) шекті кернеуі (әдетте Vth немесе VGS(th) деп қысқартылады) – бастапқы және қақпалық шикізат арасындағы (VGS) тоқ өткізгіш жол жасау үшін қажетті ең төменгі кернеу. Бұл қуат тиімділігін сақтау үшін маңызды масштабтау факторы болып табылады. Тоқ өткізгіштік эффекті транзисторына (JFET) қатысты, шекті кернеу көбінесе қысылу кернеуі деп аталады. Бұл шатастыру тудыруы мүмкін, себебі оқшауланған қақпалық далалық эффекті транзисторына (IGFET) қатысты қысылу, ток ешқашан тоқтамаса да, жоғары бастапқы-ағын кернеуінде ток қанығуын тудыратын арнаның қысылуын білдіреді. Қысылудан айырмашылығы, шекті кернеу термині нақты және кез келген далалық эффекті транзисторындағы бірдей ұғымды білдіреді.

Негізгі қағидалар

n арнаны күшейту режиміндегі құрылғыларда өткізгіш арна транзистор ішінде табиғи түрде болмайды. VGS болмаған жағдайда, FET денесіне қосылған допант иондары мобильді тасымалдаушылардың жоқ аймағын құрайды, ол сарқылу аймағы деп аталады. Оң VGS дене ішіндегі бос электрондарды қақпаға тартады. Бірақ, допант иондарын теңгеріп, өткізгіш арнаны құру үшін қақпаға жеткілікті электрондар тартылуы керек. Бұл процесс инверсия деп аталады. Өткізгіш арна FET-тің шекті кернеуінде көзден ағызуға жалғасады. VGS жоғарылағанда тіпті көбірек электрондар қақпаға тартылады, бұл арнаны кеңейтеді. p арналы "күшейту режимі" MOS транзисторы үшін керісінше дұрыс. VGS = 0 болған кезде құрылғы "ӨШІК" күйде болады және арна ашық/өткізбейтін болады. p типті "күшейту режимі" MOSFET-ке теріс қақпа кернеуін қолдану арнаның өткізгіштігін арттырып, оны "ҚОСАДЫ". n арнаның сарқылу режиміндегі құрылғыларда транзистордың ішінде табиғи түрде өткізгіш арна бар. Сәйкесінше, шекті кернеу термині мұндай құрылғыларды қосу үшін тікелей қолданылмайды, бірақ арнаның электрондар оңай ағып кетуіне мүмкіндік беретін жеткілікті кеңдіктегі кернеу деңгейін көрсету үшін қолданылады. Бұл ағыстың жеңілдігі шегі p арнаның сарқылу режиміндегі құрылғыларға да қатысты, онда қақпадан денеге/көзге теріс кернеу сарқылу қабатын жасайды, осы арқылы оң зарядталған тесіктерді қақпа оқшаулағышы/жартылай өткізгіш интерфейсінен алыстатып, тасымалдаушысыз, теріс зарядталған акцептор иондарының аймағын ашық қалдырады. n арнаны сарқтырған MOS транзисторы үшін жеткілікті теріс VGS транзисторды "ӨШІРУ" үшін оның бос электрондарының өткізгіш арнасын сарқытады (сондықтан оның аты осылай). Сол сияқты, p арналы "сарқылу режимі" MOS транзисторы үшін жеткілікті оң қақпа-көз кернеуі арнаны оның бос тесіктерінен сарқытады, оны "ӨШІРЕДІ". Кең жазықты транзисторларда шекті кернеу ағындылық кернеуге (VDS) дерлік тәуелді емес, сондықтан жақсы анықталған сипаттама болып табылады, бірақ қазіргі нанометрлік MOSFET-терде ағындылықтан туындаған кедергілерді төмендету салдарынан бұл айқын емес. Суреттерде көз (сол жақта) және ағынды (оң жақта) қатты допингтелген (көк) n аймақтарды көрсету үшін n+ деп белгіленеді. Сарқылу қабатындағы допант NA- деп белгіленеді, бұл сарқылу қабатындағы иондардың теріс зарядталғандығын және өте аз тесіктер бар екенін көрсетеді. (Қызыл) бөлікте тесіктердің саны p = NA, бұл бөлік зарядын бейтарап етеді. Егер қақпа кернеуі шекті кернеуден төмен болса (сол суретте), "күшейту режимі" транзисторы өшіріледі және идеалды жағдайда транзистордың көзінен ағынға ток болмайды. Шындығында, қақпаның тежелуіне қарамастан, кішкентай және қақпаның тежелуіне байланысты экспоненциалды түрде өзгеретін ток (көшектік ағын) бар. Сондықтан, деректер парақтарында токтың белгіленген өлшенетін мөлшері (әдетте 250 мкА немесе 1 мА) бойынша шекті кернеу көрсетіледі. Егер қақпа кернеуі шекті кернеуден жоғары болса (оң суретте), "күшейту режимі" транзисторы қосылады, себебі оксид-кремний интерфейсіндегі арнада көптеген электрондар бар, бұл зарядтың ағыннан көзге ағып кетуіне мүмкіндік беретін төмен кедергілі арнаны жасайды. Шекті деңгейден айтарлықтай жоғары кернеулер үшін бұл жағдай күшті инверсия деп аталады. VD > 0 болған кезде арна таяз болады, өйткені кедергілі арнадағы токқа байланысты кернеудің төмендеуі ағынға жақындаған кезде арнаны қолдап тұрған оксид өрісін азайтады.

Допингтің кездейсоқ ауытқуына тәуелділік

Допанттың кездейсоқ ауытқуы (RDF) – имплантацияланған қоспа концентрациясының өзгеруінен туындайтын өндіріс процесінің ауытқуының бір түрі. MOSFET транзисторларында, арна аймағындағы RDF транзистордың қасиеттерін, әсіресе, өткізу шегін өзгерте алады. Жаңа өндіріс технологияларында RDF-тың әсері күшейеді, себебі жалпы допанттар саны азаяды. Бірдей өндіріс процесінен өткен құрылғылар арасындағы өткізу шегінің өзгеруіне себеп болатын допант ауытқуларын жою мақсатында зерттеу жұмыстары жүргізілуде.