Введение

Минимальное напряжение между затвором и истоком, необходимое для протекания тока между истоком и стоком в полевом транзисторе.

Пороговое напряжение, обычно обозначаемое как Vth или VGS(th), полевого транзистора (FET) – это минимальное напряжение между затвором и истоком (VGS), которое требуется для формирования проводящего канала между истоком и стоком. Это важный параметр масштабирования для обеспечения энергоэффективности. В отношении транзистора с управляющим p-n переходом (JFET) пороговое напряжение часто называют напряжением отсечки. Это может вводить в заблуждение, поскольку в транзисторах с изолированным затвором (IGFET) термин "отсечка" относится к сужению канала, приводящему к насыщению тока при высоком напряжении сток-исток, даже если ток не прекращается полностью. В отличие от термина "отсечка", термин "пороговое напряжение" является однозначным и обозначает одно и то же понятие для любого полевого транзистора.

Основные принципы

В устройствах с n-канальным режимом усиления проводящий канал не существует естественным образом внутри транзистора. При отсутствии VGS допантные ионы, добавленные в объем FET, формируют область без подвижных носителей заряда, называемую областью обеднения. Положительное VGS притягивает свободные электроны внутри объема к затвору. Однако для компенсации допантных ионов и формирования проводящего канала необходимо притянуть достаточное количество электронов вблизи затвора. Этот процесс называется инверсией. Проводящий канал соединяет исток и сток при пороговом напряжении FET. При увеличении VGS к затвору притягивается еще больше электронов, что расширяет канал. Обратное справедливо для p-канального МОП-транзистора в режиме усиления. При VGS = 0 устройство находится в состоянии "ВЫКЛ", а канал разомкнут / непроводящий. Подача отрицательного напряжения на затвор p-канального МОП-транзистора в режиме усиления увеличивает проводимость канала, переводя его в состояние "ВКЛ". В отличие от этого, устройства с n-канальным режимом обеднения имеют проводящий канал, который естественным образом существует внутри транзистора. Соответственно, термин "пороговое напряжение" не применяется непосредственно к включению таких устройств, а используется для обозначения уровня напряжения, при котором канал становится достаточно широким для свободного протекания электронов. Этот порог облегченного протекания также применим к устройствам с p-канальным режимом обеднения, в которых отрицательное напряжение между затвором и корпусом/истоком создает обедненный слой, отталкивая положительно заряженные дырки от границы затвор-полупроводник, обнажая область, свободную от носителей, с неподвижными, отрицательно заряженными акцепторными ионами. Для n-канального МОП-транзистора в режиме обеднения достаточное отрицательное VGS обеднит (отсюда и название) проводящий канал, лишив его свободных электронов и переводя транзистор в состояние "ВЫКЛ". Аналогично, для p-канального МОП-транзистора в режиме обеднения достаточное положительное напряжение между затвором и истоком обеднит канал, лишив его свободных дырок и переводя его в состояние "ВЫКЛ". В широких плоских транзисторах пороговое напряжение практически не зависит от напряжения сток-исток (VDS) и, следовательно, является четко определенной характеристикой. Однако в современных МОП-транзисторах нанометрового размера это менее выражено из-за снижения барьера, вызванного влиянием стока. На рисунках исток (слева) и сток (справа) обозначены как n+, чтобы указать на сильно легированные (синие) n-области. Допант в области обеднения обозначен как NA−, чтобы указать, что ионы в (розовой) области обеднения имеют отрицательный заряд и содержат очень мало дырок. В (красном) объеме количество дырок p = NA, что делает объем электрически нейтральным. Если напряжение на затворе ниже порогового напряжения (левая часть рисунка), транзистор в режиме усиления выключен, и в идеале ток от стока к истоку отсутствует. Однако ток существует даже при напряжениях на затворе ниже порогового (подпороговая утечка), хотя он мал и экспоненциально зависит от напряжения на затворе. Поэтому в технических характеристиках пороговое напряжение указывается для определенного измеримого значения тока (обычно 250 мкА или 1 мА). Если напряжение на затворе выше порогового напряжения (правая часть рисунка), транзистор в режиме усиления включен, поскольку в канале на границе оксид-кремний присутствует большое количество электронов, создавая канал с низким сопротивлением, по которому может течь заряд от стока к истоку. При напряжениях, значительно превышающих пороговое, эта ситуация называется сильной инверсией. Канал сужается при VD > 0, поскольку падение напряжения из-за тока в резистивном канале уменьшает электрическое поле оксида, поддерживающее канал по мере приближения к стоку.

Зависимость от случайных колебаний допинга

Случайные флуктуации допанта (RDF) — это вид технологической вариации, возникающий из-за изменения концентрации внедрённых примесей. В MOSFET-транзисторах RDF в канальной области может изменять характеристики транзистора, особенно пороговое напряжение. В современных технологических процессах RDF оказывает большее влияние, поскольку общее число допантов уменьшается. Ведутся исследования, направленные на подавление флуктуаций допанта, вызывающих разброс пороговых напряжений между устройствами, изготовленными по одному и тому же технологическому процессу.