Кіріспе

Инч-құрт моторы - нанометрлік дәлдікпен валдың қозғалысын қамтамасыз ету үшін пьезоэлектрлік актuatorларды қолданатын құрылғы. Ең қарапайым нұсқасында, инч-құрт моторы үш пьезо-актуаторды пайдаланады (2 және 3, 1-суретті қараңыз), олар түтікшеге (1) орнатылып, реттілігімен электрлендіріледі, бұл валдың (4) ұсталуына және одан кейін сызықтық бағытта жылжуына мүмкіндік береді. Валдың қозғалысы екі ұстағыш пьезоэлементті (3) итеру арқылы бүйірлік пьезоэлементтің (2) кеңеюіне байланысты.

Операция

Инчворт моторының іске қосу процесі бастапқы демалыс және инициализация кезеңінен кейін алты кезеңді циклдық процесс болып табылады. Бастапқыда үш пьезо да бос және кеңейтілмеген. Инчворт моторын инициализациялау үшін қажетті қозғалыс бағытына ең жақын тұйықталу пьезосы (кейін алдыңғы тұйықталу пьезосы болады) бірінші болып электрлендіріледі, содан кейін алты қадамдық цикл келесідей басталады (2-суретті қараңыз):

1-қадам. Бүйірлік пьезоны кеңейту. 2-қадам. Артқы тұйықталу пьезосын кеңейту. 3-қадам. Алдыңғы тұйықталу пьезосын босату. 4-қадам. Бүйірлік пьезоны босату. 5-қадам. Алдыңғы тұйықталу пьезосын кеңейту. 6-қадам. Артқы тұйықталу пьезосын босату. Пьезоактуаторларды электрлендіру жоғарыда сипатталған "Алты қадамдық" процеске сәйкес актуаторларға жоғары смещениелік кернеу қолдану арқылы жүзеге асырылады. Ұзақ қашықтыққа қозғалу үшін алты қадамдық тізбек тез арада бірнеше рет қайталанады. Мотор қажетті соңғы позицияға жеткілікті жақын келгеннен кейін, оны опциялық дәл позициялау режиміне ауыстыруға болады. Бұл режимде тұйықталулар тұрақты кернеу алады (біреуі жоғары, екіншісі төмен), ал бүйірлік пьезо кернеуі үздіксіз кері байланыс бақылауымен қажетті соңғы позицияны алу үшін аралық мәнге реттеледі. Бұл пьезоэлектрлік мотордың қуатсыз күйдегі мінез-құлқы екі нұсқаның бірі болуы мүмкін: әдетте құлыпталған немесе әдетте бос. Әдетте бос тип қуатсыз еркін қозғалуға мүмкіндік береді, бірақ кернеу қолданғанда құлыпталуы мүмкін.

Скандық туннельдік микроскопия

Инч-құрт моторы көбінесе сканерлік туннельдік микроскоптарда (СТМ) қолданылады. СТМ-ге бақыланатын материалға жақын сканерлеу ұшының нанометрлік дәлдікте басқарылуы қажет. Бұл басқаруды сканерлеу ұшын инч-құрт моторының білігіне қосу арқылы жүзеге асыруға болады. Инч-құрт моторы, өз кезегінде, бақыланатын материалдың бетіне перпендикуляр бағытта басқаруға мүмкіндік береді. Беттегі қозғалыс әдетте x-y жазықтықтағы қозғалыс деп аталады, ал бетке перпендикуляр қозғалыс z бағытындағы қозғалыс деп аталады. Сканерлеу ұшының инч-құрт моторымен қозғалысы қолмен немесе кері байланыс жүйесіне моторын қосу арқылы автоматты түрде басқарылады.

Жапсырманы бекіту

Инчворт моторы биологиялық жасушаларды жапсырмалы қысуда қолданылуы мүмкін. Бұл техника көбінесе оптикалық микроскоп пен шыны пипетканы ұстайтын микроманипулятормен жүзеге асырылады. Инчворт моторы жапсырмалы қысу үшін ерекше қолайлы, себебі ол операторға дерлік бірден, нақты, тегіс және болжамды, қозғалыстан ауытқусыз қозғалыс ұсынады.