Кіріспе

Микропроцесс инженериясы – химиялық немесе физикалық процестерді (бірлік операцияларын) кішкентай көлемде, әдетте диаметрі 1 мм-ден кем арналар (микроканалдар) немесе миллиметрден кішкентай өлшемді басқа құрылымдар ішінде жүргізу ғылымы. Бұл процестер көбінесе үзіліссіз ағын режимінде жүзеге асырылады, бұл топтық өндіріске қарағанда микропроцесс инженериясын химиялық өндіріс құралы ретінде пайдалануға жеткілікті өнімділік береді. Сондықтан микропроцесс инженериясын микрохимиямен шатастыруға болмайды, себебі микрохимия өте аз мөлшердегі заттармен айналысады. Микрореакция технологиясы деп аталатын микропроцесс инженериясының химиялық реакцияларды микроқұрылымдық реакторларда немесе "микрореакторларда" зерттейтін саласы бар. Микроқұрылымдық реакторлардың немесе микрореакторлардың ерекше артықшылықтары – үлкен бет/көлем қатынасынан туындаған күшейтілген жылу алмасу және күшейтілген масса алмасу. Мысалы, диффузия процестерінің ұзындық өлшемі микроканалдардың ұзындығына тең немесе тіпті одан да қысқа, сондай-ақ реактивтерді өте қысқа уақыт ішінде (әдетте, миллисекундтарда) тиімді араластыруға болады. Жақсы жылу өткізгіштігі реакциялардың температурасын дәл бақылауға мүмкіндік береді. Мысалы, жоғары экзотермиялық реакцияларды микроқұрылымдық реакторда, реакциялық арналардан сұйықтық арқылы бөлінген ("салқындату арнасы") екінші микроканалдар жиынтығы арқылы, жеткілікті жылу сыйымдылығы бар суық сұйықтық ағыны қамтамасыз етілгенде, дерлік изотермиялық жағдайда жүргізуге болады. Сондай-ақ, микроқұрылымдық реакторлардың температурасын қасақана изотермиялық емес мінез-құлықты жасау үшін өте жылдам өзгертуге болады.

Тарих

Тарихи тұрғыдан алғанда, микропроцесс инженериясы 1980-ші жылдар шамасында пайда болды, осы кезде уран изотоптарын бөлуге арналған механикалық микроөңдеу әдістері алғаш рет Карлсруэ (ядролық) зерттеу орталығында ықшам жылу алмастырғыштарды өндіруге қолданылды.