Кіріспе

Жүгіретін дене эффектісі – кремнийді изолятор (SOI) технологиясымен жасалған транзистордың дене потенциалының, оның кернеулену тарихы мен заряд тасымалдаушылардың рекомбинация процестеріне тәуелділігі. Транзистордың денесі оқшауланған негізге қарсы конденсатор құрайды. Заряд осы конденсаторда жиналады және жағымсыз әсерлерге алып келуі мүмкін, мысалы, құрылымдағы паразиттік транзисторлардың ашылуы және өшірілген кезде ток ағып кетуі, нәтижесінде ток тұтынудың артуы және DRAM жағдайында жад жасушаларынан ақпараттың жоғалуы. Бұл эффект тарих эффектісін де тудырады, яғни транзистордың шекті кернеуінің оның бұрынғы күйлеріне тәуелділігін. Аналогтық құрылғыларда жүгіретін дене эффектісі бұрылу эффектісі деп аталады. Жүгіретін дене эффектісіне қарсы шаралардың бірі – толықтай толыққан (FD) құрылғыларды қолдану. FD құрылғыларындағы изолятор қабаты арнаның азайту енінен едәуір жұқа болады. Сондықтан транзисторлардың заряды және дене потенциалы да бекітіледі. Дегенмен, FD құрылғыларында қысқа арна эффектісі нашарлайды, егер бастапқы және аяқтағы электродтар жоғары болса, дене әлі де зарядтала алады, ал архитектура денемен байланыс қажет болатын кейбір аналогтық құрылғыларға сәйкес келмейді. Гибридтік траншеялық оқшаулау – тағы бір тәсіл. Жүгіретін дене эффектісі SOI DRAM чиптерінде мәселе тудырса да, ол Z RAM және T RAM технологияларының негізгі принципі ретінде пайдаланылады. Осы себепті бұл эффекті осы технологиялар контекстінде кейде «Сүкіршік эффектісі» деп аталады, өйткені ол кемшілікті артықшылыққа айналдырады. AMD және Hynix Z RAM лицензиясын алды, бірақ 2008 жылға дейін оны өндіріске енгірген жоқ. Ал Intel-де жетілдірілгені – «Floating Body Cell» (FBC).