Введение

Эффект плавающего тела – это зависимость потенциала тела транзистора, реализованного в технологии кремния на изоляторе (SOI), от истории его смещения и процессов рекомбинации носителей заряда. Тело транзистора формирует конденсатор относительно изолированной подложки. Заряд накапливается на этом конденсаторе и может вызывать нежелательные эффекты, например, включение паразитных транзисторов в структуре и утечки тока в выключенном состоянии, что приводит к увеличению энергопотребления и, в случае DRAM, к потере информации в ячейках памяти. Это также обуславливает эффект истории – зависимость порогового напряжения транзистора от его предыдущих состояний. В аналоговых устройствах эффект плавающего тела известен как эффект «изгиба» (kink effect). Одной из мер противодействия эффекту плавающего тела является использование полностью истощенных (FD) устройств. Изолирующий слой в FD-устройствах значительно тоньше ширины области пространственного заряда канала. Таким образом, заряд и, следовательно, потенциал тела транзисторов фиксированы. Однако, в FD-устройствах усугубляется эффект короткого канала, тело может заряжаться, если высоки потенциалы как истока, так и стока, а архитектура не подходит для некоторых аналоговых устройств, требующих контакта с телом. Гибридная траншейная изоляция – еще один подход. В то время как эффект плавающего тела представляет собой проблему в чипах SOI DRAM, он используется как основной принцип в технологиях Z RAM и T RAM. По этой причине в контексте этих технологий эффект иногда называют «эффектом Золушки», поскольку он превращает недостаток в преимущество. Компании AMD и Hynix лицензировали технологию Z RAM, но по состоянию на 2008 год не начали ее серийное производство. Усовершенствованная Intel технология Floating Body Cell (FBC) также основана на этом эффекте.