Кіріспе

Галлий арсениді (GaAs) – цинк бленді кристалдық құрылымы бар III-V тікелей жолақты жартылай өткізгіш. Галлий арсениді микротолқынды жиіліктегі интегралдық тізбектер, монолитті микротолқынды интегралдық тізбектер, инфрақызыл сәуле шығаратын диодтар, лазерлік диодтар, күн элементтері және оптикалық терезелер сияқты құрылғыларды жасауда қолданылады. Тік градиентті қатыру (VGF) процесі. Бриджман-Стокбаргер әдісінде горизонталь аймақтық пешті пайдалана отырып, галлий мен мырыш буларының өзара әрекеттесуі және пештің салқын жағындағы бастама кристалдарына бос молекулалардың тұнуы арқылы кристалл өсіру жүзеге асырылады. Жоғары тазалықтағы, жартылай оқшаулағыш қасиеттерін көрсете алатын бір кристаллдарды өндіру үшін сұйық капсулаланған Чохральски (LEC) өсімі қолданылады (төменде қараңыз). GaAs пластиналарының көп бөлігі осы процесс арқылы өндіріледі. GaAs қабаттарын өндірудің баламалы әдістері:
Газ тәрізді галлий металлы мен арсен трихлоридінің VPE реакциясы: 2 Ga + 2AsH₃ → 2 GaAs + 3H₂
Триметилгаллий мен арсиннің MOCVD реакциясы: (CH₃)₃Ga + AsH₃ → GaAs + 3CH₄
Галлий мен арсеннің молекулалық сәулелі эпитаксісі (MBE): 4 Ga + As₂ → 4 GaAs немесе 2 Ga + AsH₃ → 2 GaAs

GaAs ауада тотығуға ұшырайды, бұл жартылай өткізгіштің жұмысын нашарлатады. Беткі қабатты кубтық галлий(II) сульфидінің қабатын жабу арқылы пассивтеуге болады, мысалы, tert-бутилгаллий сульфиді қосылысын (tBuGaS)₇ қолдану арқылы.

Жартылай оқшаулағыш кристалдар

Артық арсен мөлшері болғанда, GaAs кристалдары кристаллографиялық ақаулармен өседі; атап айтқанда, арсен антисайт ақаулары (кристалл торында галлий атомы орнында арсен атомы). Бұл ақаулардың электрондық қасиеттері (басқаларымен өзара әрекеттесуі) Ферми деңгейін энергиялық саңылаудың ортасына жуық орналастырады, сондықтан бұл GaAs кристаллының электрондары мен тесіктерінің концентрациясы өте төмен болады. Бұл төмен тасымалдаушы концентрациясы табиғи (допингсіз) кристалға ұқсас, бірақ тәжірибеде оны қол жеткізу әлдеқайда оңай. Бұл кристалдар "жартылай оқшаулағыш" деп аталады, олардың кедергісі 10⁷–10⁹ Ом·см құрайды (жартылай өткізгіш үшін бұл өте жоғары көрсеткіш, бірақ шыны сияқты нағыз оқшаулағыштан әлдеқайда төмен).

Кремнийдің артықшылықтары

Кремний интегралдық схемаларды жасау үшін GaAs-қа қарағанда үш маңызды артықшылығы бар. Біріншіден, кремний мол және силикат минералдары түрінде өңдеуі арзан. Кремний өндірісінің масштабты тиімділігі де GaAs-ты қабылдауға кедергі келтірді. Сонымен қатар, Si кристаллының құрылымы өте тұрақты және диаметрі өте үлкен түйірлерге өсірілуі және өте жақсы түсіммен өңделуі мүмкін. Бұл сонымен қатар өте жақсы жылу өткізгіш, осылайша транзисторларды тығыз орналастыруға мүмкіндік береді, олар жұмыс істеу кезіндегі жылуды таратуы керек, бұл өте үлкен интегралдық схемаларды жобалау және өндіру үшін өте маңызды. Мұндай жақсы механикалық қасиеттер оны наноэлектрониканың қарқынды дамып келе жатқан саласына да қолайлы материал етеді. Әрине, GaAs беті диффузия үшін қажетті жоғары температураға төтеп бере алмайды, бірақ 1980 жылдардан бері қолданылатын және белсенді түрде зерттеліп жатқан балама – иондық имплантация. Si-дың екінші маңызды артықшылығы – оқшаулағыш ретінде қолданылатын туалас оксидінің (кремний диоксиді, SiO2) болуы. Кремний диоксиді кремний тізбектеріне оңай енгізілуі мүмкін, ал мұндай қабаттар кремнийге жақсы жабысады. SiO2 жақсы оқшаулағыш ғана емес (8.9 эВ байланыс аралығымен), сонымен қатар Si-SiO2 интерфейсі тамаша электрлік қасиеттерге ие болуы үшін оңай реттелуі мүмкін, ең бастысы – интерфейс күйлерінің төмен тығыздығы. GaAs-та туалас оксид жоқ, тұрақты жабысқақ оқшаулағыш қабатты оңай ұстай алмайды және Si-SiO2-дың диэлектрлік беріктігіне немесе бетін пассивтеу қасиеттеріне ие емес. Бұл жоғары жылдамдықты P-арналы өрістік эффектті транзисторларды жасауға мүмкіндік береді, олар CMOS логикасы үшін қажет. Олар жылдам CMOS құрылымына ие болмағандықтан, GaAs тізбектері энергияны көп тұтынатын логикалық стильдерді пайдалануы керек, бұл GaAs логикалық тізбектерінің кремнийлік логикалық тізбектерімен бәсекелесуіне кедергі келтірді. Күн батареяларын жасау үшін кремнийдің күн сәулесін сіңіру қабілеті салыстырмалы түрде төмен, яғни күн сәулесінің көп бөлігін сіңіру үшін 100 микрометр Si қажет. Мұндай қабат салыстырмалы түрде берік және оны ұстау оңай. Ал GaAs-тың сіңіру қабілеті соншалықты жоғары, барлық жарықты сіңіру үшін тек бірнеше микрометр қалыңдық жеткілікті. Сондықтан GaAs жұқа пленкалары субстрат материалға сүйенуі керек. Кремний таза элемент, бұл GaAs-тың стехиометриялық тепе-теңдігінің бұзылуы және термиялық араласуының алдын алады. Кремнийдің кристалдық торшасы дерлік мінсіз, қосымшалардың тығыздығы өте төмен және өте кішкентай құрылымдарды жасауға мүмкіндік береді (2020 жылғы коммерциялық өндірісте 5 нм-ге дейін). Керісінше, GaAs-тың қосымшалардың өте жоғары тығыздығы бар, бұл кішкентай құрылымдармен интегралдық схемаларды жасауды қиындатады, сондықтан 500 нм процесі GaAs үшін әдеттегі процесс болып табылады. Кремнийдің жылу өткізгіштігі GaAs-тан шамамен үш есе жоғары, бұл жоғары қуатты құрылғыларда жергілікті қызу қаупін азайтады.

Күн элементтері мен детекторлары

Галлий арсениді – жоғары құнмен және жоғары тиімділікпен ерекшететін күн батареялары үшін маңызды жартылай өткізгіш материал болып табылады және бір кристаллды жұқа пленкалы күн батареялары мен көп түйіспелі күн батареяларында қолданылады. ГаАс күн элементтерін ғарышқа алғаш рет 1965 жылы ұшырылған Венера-3 миссиясында пайдаланған. Kvant компаниясы өндірген GaAs күн батареялары жоғары температурадағы ортада жоғары өнімділігі үшін таңдалды. Сол себепті GaAs жасушалары Луноход роверлерінде де қолданылды. 1970 жылы КСРО-да Жорес Альферов басқарылған команда GaAs гетероқұрылымдық күн элементтерін жасады, олар айтарлықтай жоғары тиімділікке қол жеткізді. 1980 жылдардың басында ең жақсы GaAs күн батареяларының тиімділігі дәстүрлі, кристаллдық кремнийге негізделген күн батареяларының тиімділігінен асып түсті. 1990 жылдары GaAs күн элементтері спутниктік қолданбалар үшін фотоэлектрлік тізімдерде кремнийдің орнын басты, ең көп қолданылатын жасуша түріне айналды. Кейін германий және индий галлий фосфиді қабаттары бар GaAs негізіндегі екі және үш түйіспелі күн элементтері жасалды, бұл үш түйіспелі күн элементінің негізі болды, ол 32%-дан астам рекордтық тиімділікке ие және 2,000 күнге дейін шоғырланған жарықпен де жұмыс істей алады. Осы күн батареясы Марс бетін зерттеген "Спирит" және "Оппортунити" марс зерттеу роверлеріне қуат берді. Көптеген күн машиналары да күн тізімдерінде ГаА-ны пайдаланады, сондай-ақ Хаббл телескопы да. GaAs негізделген құрылғылар 29,1% (2019 жылғы мәліметтер бойынша) бір түйіспелі күн элементтерінің ең жоғары тиімділігі бойынша әлемдік рекордты иеленеді. Бұл жоғары тиімділік өте жоғары сапалы GaAs эпитаксиялық өсуіне, AlGaAs-тің беттік пассивациясына және жұқа пленкалық конструкция арқылы фотондардың қайта өңдеуін ынталандыруға байланысты. GaAs негізделген фотоэлектрлік элементтер жарықты электр энергиясына айналдырудың ең жоғары тиімділігіне де жауапты (2022 жылғы мәліметтер бойынша), өйткені Fraunhofer Institute for Solar Energy Systems зерттеушілері GaAs жұқа пленкалық фотоэлектрлік элементін 858 нанометр толқын ұзындығы бар монохроматикалық лазерлік жарыққа ұшыратқанда 68,9% тиімділікке қол жеткізді. Бүгінде көп түйіспелі GaAs жасушалары қазіргі фотоэлектрлік жасушалардың ең жоғары тиімділігіне ие және болашақта да осылай болады деген болжам бар. 2022 жылы Rocket Lab инвертті метаморфты көп түйіспелі (IMM) технологиясына негізделген 33,3% тиімділікке ие күн элементін ұсынды. IMM-де алдымен торапқа сәйкес келетін (бірдей торап параметрлері) материалдар өсіріледі, содан кейін сәйкес келмейтін материалдар өсіріледі. Жоғары жасуша, GaInP, алдымен GaAs субстратына сәйкес келе отырып өсіріледі, содан кейін минималды сәйкессіздікпен GaAs немесе GaInAs қабаты, ал соңғы қабатта тораптың сәйкессіздігі ең жоғары болады. Өсуден кейін жасуша екінші тұтқаға бекітіледі және GaAs субстраты алынып тасталады. IMM процесінің басты артықшылығы – тораптың сәйкессіздігі бойынша кері өсу жасушаның жоғары тиімділігіне жол ашады. Кванттық құдықтарды пайдаланатын AlxGa1−xAs GaAs құрылғыларының күрделі конструкциялары инфрақызыл сәулеленуге (QWIP) сезімтал болуы мүмкін. GaAs диодтары рентген сәулелерін анықтау үшін қолданылуы мүмкін.

GaAs күн батареяларының болашақ перспективалары

GaAs негізіндегі фотоэлектрлік элементтер күн батареяларының тиімділігі бойынша нағыз көшбасшы болғанымен, олар қазіргі нарықта салыстырмалы түрде шектеулі қолданысқа ие. Соңғы он жылда әлемдегі электр энергиясын өндіру және электр қуатын өндіру қабілеті бойынша күн энергиясы, жел, су, биомасса сияқты басқа отын көздерінен тезірек өсіп келеді. Дегенмен, GaAs күн элементтері кеңінен таралған күн электр энергиясын өндіруге қазірге дейін енгізілген жоқ. Бұл, негізінен, ғарыш қолданысындағы GaAs күн элементтерінің жоғары құнымен байланысты, онда жоғары өнімділік қажеттіліктеріне байланысты қолданыстағы GaAs технологиясының сәйкес жоғары құны қабылданады. Мысалы, GaAs негізіндегі фотоэлектрлік элементтер гамма сәулеленуіне және жоғары температура өзгерістеріне ең жақсы төзімділік көрсетеді, бұл ғарыш аппараттары үшін өте маңызды. Бірақ басқа күн батареяларымен салыстырғанда, III-V күн элементтері кремний негізіндегі күн батареялары сияқты басқа технологиялардан екі-үш есе қымбат. Бұл құнның негізгі көздері – эпитаксиялық өсу құны және жасуша орналастырылатын субстрат. GaAs күн элементтері көбінесе металл-организмдік химиялық бу фазалық осаздану (MOCVD) және гидридтік бу фазалық эпитаксия (HVPE) сияқты эпитаксиялық өсу әдістерін пайдалану арқылы жасалады. Бұл әдістердің құнын айтарлықтай төмендету үшін құралдардың құны, өнімділік, материалдық құн және өндіріс тиімділігі жақсартуды қажет етеді. Бірақ бұл әдіс уақытты көп алады, қаншама қауіпті (фторсутек қышқылын пайдаланумен байланысты) және бірнеше өңдеу кезеңдерін қажет етеді. Дегенмен, фосфид негізіндегі материалдарды және хлорлы қышқылды пайдалана отырып, беттік пассивтеу және минималды өңдеуден кейінгі қалдықтарды қамтамасыз ететін ELO-ға қол жеткізуге мүмкіндік беретін және GaAs субстратын тікелей қайта пайдалануға рұқсат беретін басқа әдістер ұсынылған. Сондай-ақ, қайта пайдалану үшін субстратты бөліп алуға болатындығына алдын ала дәлелдер бар. Субстрат құнын төмендетудің тағы бір жолы – арзан материалдарды пайдалану, бірақ бұл қолданбаға арналған материалдар қазіргі уақытта коммерциялық түрде қол жетімді немесе әзірленбеген. Концентраторлық жүйелер қазіргі фотоэлектрлік құрылымдардың ең жоғары тиімділігіне ие. Осылайша, концентраторлық фотоэлектрлік және эпитаксиялық өсу мен субстрат құнын төмендетуге бағытталған технологиялар GaAs күн элементтерінің құнын төмендетуге және оларды құрлықта қолдануға жол ашуы мүмкін.

Жарық шығаратын құрылғылар

GaAs 1962 жылдан бері жақын инфрақызыл лазерлік диодтарды жасау үшін қолданылып келеді. Ол көбінесе осы мақсаттар үшін басқа жартылай өткізгіш қосылыстармен қорытпалар түрінде қолданылады. Кремний донорлық атомдарымен (Ga орындарында) және бор акцепторлық атомдарымен (As орындарында) легирленген N типі GaAs, иондаушы сәулеленуге сцинтилляциялық фотондарды шығару арқылы жауап береді. Криогендік температурада ол белгілі ең жарқын сцинтилляторлардың бірі болып табылады және келесі алты маңызды факторға байланысты, өзара әрекеттесетін қара материядан сирек кездесетін электрондық тұрақтандыруларды анықтау үшін перспективті кандидат болып табылады: GaAs-тағы кремний донорлық электрондарының байланыс энергиясы барлық белгілі N типі жартылай өткізгіштердің арасында ең төменгілерінің бірі болып табылады. 8 см³ жоғары еркін электрондар «қатып қалмайды» және криогендік температурада локальденбейді. Бор және галлий III топқа жататын элементтер, сондықтан бор көбінесе галлий орнына орналасады. Алайда, жеткілікті саны мырыш орнына ие болып, валенттік аймақтың иондану оқиғасының тесіктерін тиімді ұстап, акцепторлар ретінде әрекет етеді. Валенттік аймақтағы иондану оқиғасының тесігін ұстағаннан кейін, бор акцепторлары локальденбеген донорлық электрондармен радиациялық түрде бірігіп, криогендік аймақтық айырмашылық энергиясынан (1,52 эВ) 0,2 эВ төмен фотондарды жасайды. Бұл GaAs кристаллы сіңіре алмайтын сцинтилляциялық фотондарды жасайтын тиімді радиациялық процесс. Сцинтилляциялық фотондардың барлығы дерлік кристалда ұсталып, сіңіріледі деп күтілсе де, бұл олай емес. Жақында жүргізілген Монте-Карло және Фейнман жол интегралы есептеулері, тар сәулелік сіңудің көп бөлігі абсолюттік сіңу емес, бірақ өткізгіш электрондардан 5 x 10⁻¹⁸ см² көлденең қимасы бар жаңа типтегі оптикалық шашырау болса, жоғары люминесценция толық ішкі шағылысудан қашуға мүмкіндік беретінін көрсетті. Бұл қима Томсон шашырауынан 10⁷ есе үлкен, бірақ металл айнадағы өткізгіш электрондардың оптикалық қимасына шамалас. N типі GaAs(Si,B) коммерциялық түрде 10 кг кристалдық қалыптар түрінде өсіріледі және электрондық тізбектер үшін негіз ретінде жұқа пластиналарға кесіледі. Бор оксиді кристалл өсу кезінде мырыштың жоғалуын болдырмау үшін қаптау материалы ретінде қолданылады, сонымен қатар сцинтилляция үшін бор акцепторларын қамтамасыз етудің артықшылығы бар.

Оптика талшықтары арқылы температураны өлшеу

Осы мақсатта оптикалық талшықты температуралық сенсордың оптикалық талшығының ұшы галлий арсениді кристаллымен жабдықталады. 850 нм жарық толқын ұзындығынан бастап GaAs оптикалық түрде мөлдір болады. Торап аралығының спектрлік орны температураға байланысты болғандықтан, ол шамамен 0,4 нм/К-қа ығысады. Өлшеу құрылғысы жарық көзінен және торап аралығының спектрлік анықтамасын жүзеге асыратын құрылымнан тұрады. Торап аралығының өзгеруіне қарай (0,4 нм/К), алгоритм температураны есептейді (әр 250 мс сайын).

Спиндік-зарядтау конвертерлері

GaAs спинтроникада қолданылуы мүмкін, себебі оны спиндік заряд түрлендіргіштерінде платина орнына пайдалануға болады және оны жақсырақ реттеуге мүмкіндік бар.

Қауіпсіздік

Галий арсенидінің көздерінің (мысалы, триметилгалий және арсин) қоршаған ортаға, денсаулыққа және қауіпсіздікке қатысты аспектілері, сондай-ақ металл-органикалық прекурсорлардың өндірістік гигиеналық мониторингі туралы хабарламалар жарияланған. Калифорния штаты галий арсенидін канцероген ретінде тізімдеген, сондай-ақ IARC және ECA да тізімдейді. Алайда, 2013 жылғы шолу (өнеркәсіптік қаржыландырумен) осы жіктемелерге қарсы пікір білдірді, егер егеуқырлар немесе тышқандар ұсақ GaAs ұнтақтарын (бұрынғы зерттеулердегідей) тыныс алса, олар GaAs-тың өзінің бастапқы канцерогендік әсерінен емес, нәтижесінде туындаған өкпе тітіркенуі мен қабынуынан қатерлі ісікке шалдығады деді. Сонымен қатар, GaAs өндірісінде немесе қолданылуында ұсақ GaAs ұнтақтарының пайда болуы ықтимал емес.