Введение
Фторосиликатное стекло (ФСС) — это стекловидный материал, состоящий преимущественно из фтора, кремния и кислорода. Оно находит широкое применение в промышленности и производстве, особенно в производстве полупроводников, где используется в качестве изоляционного диэлектрика. Связанные с ним фторосиликатные стеклокерамики обладают хорошими механическими и химическими свойствами.
Производство полупроводников
FSG имеет небольшую относительную диэлектрическую проницаемость (диэлектрик с низкой κ) и используется между металлическими медными проводниками при производстве кремниевых интегральных схем. Он широко применяется на предприятиях по производству полупроводников при размерах структур менее 0,25 микрон (μ). FSG по сути является диоксидом кремния, содержащим фтор (κ=3,5, в то время как диэлектрическая проницаемость недопированного диоксида кремния составляет 3,9). FSG используется компанией IBM. Intel начала использовать медные проводники и FSG в своем процессоре Pentium с частотой 1,2 ГГц, изготовленном по технологии 130 нм комплементарных металл-оксид-полупроводниковых (CMOS) схем. Компания Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC) использовала FSG и медь в Altera APEX.
Флуоросиликатная стеклокерамика
Фторсиликатная стеклянная керамика – это кристаллические или полукристаллические твердые вещества, формирующиеся при контролируемом охлаждении расплавленного фторсиликатного стекла. Они обладают хорошими механическими свойствами. Материалы на основе фторихтерита калия состоят из мелких, переплетенных кристаллов амфибола в форме стержней; они демонстрируют высокую химическую стойкость и могут использоваться в микроволновых печах. Стеклянная керамика на основе рихтерита применяется для производства высококачественной посуды. Фторсиликатная стеклянная керамика слоистой структуры, получаемая из слюды, отличается прочностью и обрабатываемостью. Она находит широкое применение и может использоваться в условиях высокого вакуума, в качестве диэлектриков и прецизионных керамических компонентов. Ряд стеклокерамических материалов на основе слюды и фторапатита слюды изучался в качестве биоматериалов.