Производство полупроводников
-
Химическое осаждение из газовой фазы: методы и применение.
Химическое осаждение из газовой фазы (CVD): метод получения высококачественных тонких плёнок для микроэлектроники и полупроводников. Описание процесса.
-
Плазменная очистка полупроводниковых пластин: методы и проблемы.
Плазменная очистка в производстве полупроводников: удаление фоторезиста плазмой (O2, F2, N2/H2). Эффективное удаление отходов вакуумным насосом.
-
Фотолитография в микроэлектронике и микрофабрикации
Фотолитография в микроэлектронике: процесс переноса рисунка на кремниевую пластину с помощью света. Ключевой этап производства интегральных схем.
-
Кремниевые пластины для микроэлектроники и солнечных элементов
Кремниевые пластины (wafers) – основа для производства микросхем и солнечных батарей. Узнайте о технологиях изготовления, обработке и применении полупроводниковых пластин.
-
Зонная плавка: метод очистки и совершенствования кристаллов
Зонная плавка: очистка кристаллов для полупроводников. Метод позволяет достичь сверхчистоты материалов, концентрируя примеси в расплаве. Разработка Bell Labs.
-
Метод выращивания кристаллов Чохральского
Метод Чохральского: выращивание монокристаллов кремния, германия и других материалов для электроники. Основан на открытии Яна Чохральского (1915).
-
Нанокристаллический кремний: свойства, применение и перспективы.
Нанокристаллический кремний (nc-Si): структура, свойства и отличия от аморфного и поликристаллического кремния. Паракристаллическая форма кремния.
-
Тонкоплёночные транзисторы: технологии и материалы
Тонкопленочные транзисторы (TFT): технология, применение в LCD-дисплеях, особенности производства на подложках (стекло). Ключевые параметры и материалы.
-
Эпитаксиальный рост кристаллов и его зависимость от подложки
Эпитаксия: рост кристаллов на подложке с определенной ориентацией. Ключевые аспекты: структура, ориентация решетки, формирование слоев. 🔬✨
-
Эпитаксия пучковых молекул: рост кристаллов и современные применения.
Эпитаксия пучками молекул (MBE): выращивание монокристаллов для полупроводников, транзисторов, лазеров и нанотехнологий. Основы метода от К.Г. Гюнтера.
-
Фотолитографические маски: типы, материалы и эволюция технологий.
Фотомаски для фотолитографии: создание микросхем и интегральных цепей. Разновидности масок, включая криволинейные, и их роль в производстве чипов.
-
Иммерсионная литография: технология с использованием воды
Иммерсионная литография: технология производства микрочипов с использованием воды между линзой и пластиной для повышения точности и разрешения.
-
Кремний на сапфире: технология и применение в микроэлектронике.
Кремний на сапфире (SOS): технология производства МОП-интегральных схем. Тонкий слой кремния на сапфире – отличный изолятор, устойчивый к радиации.
-
Реактивное ионное травление: метод микрофабрикации.
Реактивное ионное травление (RIE): точная микрофабрикация, удаление материалов с пластин плазмой в вакууме. Сухая гравировка для электроники.
-
Подготовка пластин к разделению на кристалы
Подготовка кристалла: монтаж и резка пластин в производстве полупроводников. Важный этап перед упаковкой и тестированием микросхем. 🚀
-
Сухое травление в микроэлектронике: принципы и применение.
Сухое травление: удаление материала ионами плазмы без жидкостей. Анизотропная обработка, создание структур с высоким соотношением сторон в микроэлектронике.
-
Метод Бриджмена-Стокбаргера: выращивание монокристаллов и направленная кристаллизация.
Метод Бриджмена-Стокбаргера: выращивание монокристаллов из расплава. Техника для получения слитков, медленное охлаждение, затравка и вращение тигля.
-
Поверхностное микромеханическое изготовление: технология и применение.
Микромеханическая обработка поверхностей: создание микроструктур методами осаждения и травления. Поликремний, диоксид кремния, толщина слоев 2-5 мкм.
-
Химико-механическая полировка полупроводниковых пластин.
Химико-механическая полировка (CMP) – технология шлифовки полупроводниковых пластин, ключевой этап в производстве микросхем. Обеспечивает плоскостность и качество.
-
Производство полупроводников: Процесс и технологии
Изготовление полупроводников: процесс создания микросхем, от проектирования электрических цепей до производства на кремниевых пластинах. RF-усилители, LED и др.
-
Влажный слой при эпитаксиальном росте квантовых точек: влияние на свойства и структуру.
Эпитаксиальный смачивающий слой: основа для выращивания квантовых точек (InAs на GaAs). Описываем формирование при несоответствии решёток и свойствах.
-
Сопротивление тонкой пленки: метод измерения и единицы измерения
Узнайте об измерении поверхностного сопротивления тонких плёнок! Метод для оценки электропроводности материалов в полупроводниках, металлах и гибридных схемах.
-
Эпитаксиальные пластины: технологии и применение.
Эпитаксиальные пластины (эпиваферы): производство, применение в микроэлектронике, фотонике и спинтронике. Методы CVD, MOCVD, MBE. Улучшение характеристик кремния.
-
SMIF-контейнеры: Изоляция полупроводниковых пластин в контролируемой среде.
SMIF – стандартизированный контейнер для пластин в микроэлектронике. Разработан Hewlett Packard в 80-х, обеспечивает чистоту и защиту при производстве полупроводников.
-
Интеграция на основе цельных кремниевых пластин (Wafer Scale Integration)
Интеграция на пластинах (WSI): создание сверхбольших микросхем из цельных кремниевых пластин для снижения стоимости и повышения производительности, особенно в машинном обучении.
-
Новые фотолитографические технологии и перспективы развития
Новые фотолитографические методы для производства микросхем: NGL, EUV, наноимпринт. Уменьшение размеров чипов и повышение разрешения. Будущее полупроводников.
-
Быстрый термический отжиг полупроводниковых пластин
Быстрый термический отжиг (RTP) полупроводников: нагрев пластин до 1000°C за секунды. Активация легирующих добавок, контроль температуры, применение в производстве чипов.
-
Силициды: состав, свойства и применение в микроэлектронике.
Силициды: химические соединения кремния и электроположительных элементов. Свойства, структура, получение. Информация о силикатах и их отличиях.
-
Фоторезисты в производстве полупроводников: состав, применение и методы литографии.
Фоторезисты в микроэлектронике: создание шаблонов для производства полупроводников. Литография, полимеры, защита подложки – ключевые аспекты.
-
Фотолитографическое оборудование: от степперов к сканерам.
Сте́ппер для фотолитогра́фии: ключево́й прибо́р в производстве интегра́льных схем (IC). Создаёт микроскопи́ческие элеме́нты на кремниевых пласти́нах.
-
Нанесение тонких пленок методом спин-коутинга: принципы и применение.
Нанесение тонких плёнок методом спин-коутинга: принцип работы, оборудование (спин-коатер), скорость вращения и получение равномерного покрытия.
-
Плавучая зонная технология выращивания кремния высокой чистоты
Высокочистый кремний плавающей зоны: технология получения, преимущества и применение. Отсутствие загрязнений, низкое содержание кислорода и углерода.
-
Разложение в паровой фазе для повышения чувствительности анализа полупроводниковых материалов.
Разложение паров (VPD) повышает чувствительность рентгенофлуоресцентного анализа (TXRF) за счет изменения формы загрязнений. Улучшение пределов обнаружения!
-
Metalorganic vapour-phase epitaxy
-
Cathodic arc deposition
-
Ионное покрытие твердых поверхностей
Ионное покрытие: технология PVD для нанесения прочных и функциональных покрытий. Очистка, модификация свойств, контроль качества пленки ионами.
-
Микрофабрикация: Технологии создания микро- и наноустройств.
Микрофабрикация: создание миниатюрных структур от микрометров и меньше. MEMS, NEMS, микрофлюидика, оптика, солнечные элементы и др. – методы и вызовы.
-
Оптическая коррекция близости расположения в фотолитографии
Оптическая коррекция близости (OPC) – технология улучшения фотолитографии для компенсации искажений при создании полупроводников. Повышает точность!
-
Технологии повышения разрешения в фотолитографии интегральных схем.
Улучшение разрешения в фотолитографии: технологии для создания микросхем с элементами 5 нм и ниже. Преодоление оптических ограничений в производстве чипов.
-
Атомно-слоевое осаждение: технология наноструктурных пленок.
Атомно-слоевое эпитаксия (ALE/ALD): точное нанесение тонких плёнок, монослой за слоем. Высокая однородность, выравнивание по структуре подложки. 🚀🔬
-
Химическое эпитаксия из газовой фазы (CBE) и ее особенности.
Эпитаксия пучками молекул (CBE): метод нанесения полупроводниковых слоев, особенно III-V соединений. Ультравысокий вакуум, металлоорганические газы.
-
Скульптурные тонкие пленки: структура, свойства и применения.
Тонкие скульптурные пленки (STF): наноструктурированные материалы с контролируемыми свойствами, созданные методом физического осаждения из паровой фазы. 🔬✨
-
Атомно-слоевое осаждение: метод получения тонких плёнок
Атомно-слоевое осаждение (ALD): точное нанесение тонких плёнок по одному атомному слою. Ключевая технология в производстве полупроводников и наноматериалов.
-
Плазменная обработка в производстве интегральных схем.
Плазменная травление: технология для производства интегральных схем. Создание микросхем с помощью плазмы, ионы и нейтральные атомы, изменение свойств материалов.
-
Контейнеры FOUP для транспортировки и хранения кремниевых пластин
FOUP – пластиковые контейнеры для безопасной транспортировки и хранения кремниевых пластин. Стандарт SEMI для 300мм wafer processing. Замена SMIF-pod.
-
Эпитаксия гидридов из газовой фазы: технология выращивания полупроводников III–V и III–N.
Эпитаксия гидридами (HVPE): выращивание GaN, GaAs, InP и др. полупроводников. Снижение стоимости производства по сравнению с MOCVD благодаря высокой скорости роста.
-
Фторсиликатное стекло и керамика: свойства и применение
Фторсиликатное стекло (FSG): свойства, применение в полупроводниковом производстве. Диэлектрик с низкой диэлектрической проницаемостью для микросхем.
-
Process (engineering)
-
Electron-beam physical vapor deposition
-
Micromy
-
Tantalum nitride