Кіріспе

Трансмиссиялық электронды аберрация түзетілген микроскоп (TEAM) – АҚШ-тың төрт зертханасы мен екі компания арасындағы бірлескен ғылыми-зерттеу жобасы. Жобаның басты мақсаты – 0,05 нанометрден кем кеңістіктік ажыратымдылығы бар, сутек атомының шамамен жартысына жуық мөлшердегі, трансмиссиялық электронды микроскопты (TEM) жасау және пайдалану.

Ғылыми негіздер

Көптен бері оптикалық микроскоптың ең жоғары кеңістіктік ажыратымдылығы, яғни оның байқай алатын ең кішкентай нысан, жарықтың λ толқын ұзындығымен шамамен тең екені белгілі, ол жасыл жарық үшін 550 нм шамасында болады. Бұл ажыратымдылықты жақсартудың бір жолы – λ-і кішірек бөлшектерді пайдалану, мысалы, жоғары энергиялы электрондар. Практикалық шектеулер электрон энергиясын 100–300 кэВ аралығында орнатуға мүмкіндік береді, бұл λ = 3,7–2,0 пм-ге сәйкес келеді. Электрондық микроскоптардың ажыратымдылығы электрон толқын ұзындығымен емес, электронды линзалардың ішкі кемшіліктерімен шектеледі. Бұл кемшіліктер оптикалық линзалардағы аберрацияларға ұқсас болғандықтан сфералық және хроматикалық аберрациялар деп аталады. Бұл аберрацияларды азайту үшін микроскопқа арнайы жасалған қосымша "линзалар" жиынтығы орнатылады, олар аберрация түзетушілер деп аталады.

Жабдық

TEAM коммерциялық FEI Titan 80–300 электронды микроскопына негізделген, оны 80 мен 300 кВ аралығындағы кернеуде, TEM және сканерлік трансмиссиялық электронды микроскопия (STEM) режимдерінде жұмыс істеуге болады. Механикалық дірілдерді азайту үшін микроскоп дыбыс өткізбейтін жабықта бөлек бөлмеде орналасқан және қашықтан басқарылады. Электрон көзі – Шотки типті өрістік эмиссиялық қару, 300 кВ кезінде энергияның салыстырмалы түрде төмен таралуы 0,8 эВ құрайды. Хроматикалық аберрацияларды азайту мақсатында, бұл таралу Виен сүзгісі типті монохроматорды қолдану арқылы 300 кВ кезінде 0,13 эВ-қа және 80 кВ кезінде 0,08 эВ-қа дейін төмендетіледі.

Қолданбалар

TEAM әртүрлі кристалдық қатты денелерде сынақтан өтті, GaN ([211] бағыты), германий ([114]), алтын ([111]) және басқаларында жеке атомдарды ажыратып, 0,05 нм-ден төмен кеңістіктік ажыратымдылыққа қол жеткізді (шамамен 0,045 нм). Графеннің суреттерінде – графиттің бір қабатында – атомдар ғана емес, сонымен қатар химиялық байланыстар да байқалады. Графен қабатында тесік жасалған жердегі жеке көміртек атомдарының қозғалысын көрсететін фильм микроскоптың ішінде жазылды. Көміртек атомдары мен олардың арасындағы байланыстарды ажыратып, ұқсас суреттер пентацен үшін де алынды – бес көміртек сақинасынан тұратын жазық органикалық молекула – бірақ мүлдем басқа микроскопиялық әдіс, атомдық күш микроскопиясы (AFM) қолданылды. AFM-де атомдарды электронмен емес, өткір дірілдейтін ұшпен зерттейді.