Кіріспе

Рентген сәулелерінің шағылысуы (кейде рентген сәулелерінің көкжиек шағылысуы, рентген сәулелерінің рефлектометриясы немесе XRR деп те аталады) – химия, физика және материалтануда беттерді, жұқа пленкаларды және көп қабаттарды сипаттау үшін қолданылатын бетке сезімтал талдау әдісі. Бұл рентген сәулелерін пайдалануға негізделген рефлектометрияның бір түрі және нейтрондық рефлектометрия және эллипсометрия техникаларымен байланысты. Рентген сәулелерінің шағылысуының негізгі принципі – рентген сәулелерінің шоғын тегіс беттен шағылыстыру және содан кейін шағылысқан рентген сәулелерінің қарқындылығын көпіршік бағытта (шағылысқан бұрыш кіретін бұрышқа тең) өлшеу. Егер интерфейс мүлдем өткір және тегіс болмаса, шағылысқан интенсивтілік Френельдің шағылысу заңы бойынша күтілгеннен ауытқиды. Бұл ауытқуларды талдау арқылы бетке перпендикуляр интерфейстің тығыздық профилін анықтауға болады.

Тарих

Бұл техника алғаш рет 1954 жылы Лайман Г. Парратт рентген сәулелеріне қолданған болып көрінеді. Парраттың бастапқы жұмысы мыс жалатылған шынының бетін зерттеді, бірақ содан бері бұл техника қатты және сұйық беттердің кең спектріне қолданылатын болды.

Ашық бастапқы кодты бағдарламалық қамтамасыз ету

Дифрактометр өндірушілері рентген сәулелерінің шағылыстығын өлшеу үшін қолданылатын коммерциялық бағдарламалық жасақтаманы әдетте ұсынады. Дегенмен, бірнеше ашық кодты бағдарламалық пакеттер де бар: GenX – кеңінен қолданылатын ашық кодты рентгендік шағылыс қисығын сәйкестендіру бағдарламалық жасақтамасы. Ол Python бағдарламалау тілінде жасалған, сондықтан Windows және Linux жүйелерінде жұмыс істейді. Motofit IGOR Pro ортасында жұмыс істейді, демек Linux сияқты ашық кодты операциялық жүйелерде қолданылмайды. Micronova XRR Java-да жұмыс істейді, сондықтан Java орнатылған кез келген операциялық жүйеде қолжетімді. Reflex – көп қабатты рентген сәулелері мен нейтрондық шағылыстығын модельдеу және талдауға арналған дербес бағдарламалық жасақтама. REFLEX – Windows, Mac және Linux платформаларында жұмыс істейтін, қолдануға оңай тегін бағдарлама.