Введение

Рентгеновская рефлективность (иногда известная как рентгеновская спекулярная рефлективность, рентгеновская рефлексометрия или XRR) — это аналитический метод, чувствительный к поверхности, используемый в химии, физике и материаловедении для характеристики поверхностей, тонких плёнок и многослойных структур. Это разновидность рефлектометрии, основанная на использовании рентгеновских лучей и связанная с методами нейтронной рефлектометрии и эллипсометрии. Основной принцип рентгеновской рефлективности заключается в отражении пучка рентгеновских лучей от плоской поверхности и последующем измерении интенсивности отражённых рентгеновских лучей в спекулярном направлении (угол отражения равен углу падения). Если граница раздела не является идеально чёткой и гладкой, то измеренная интенсивность отражения будет отличаться от предсказанной законом Френеля. Эти отклонения затем анализируются для получения профиля плотности границы раздела, перпендикулярного поверхности.

История

Похоже, что эта методика была впервые применена к рентгеновским лучам Лайманом Г. Парратом в 1954 году. Первоначальные работы Парратта были посвящены исследованию поверхности стекла, покрытого медью, но с тех пор методика была распространена на широкий спектр твердых и жидких границ раздела.

Программное обеспечение с открытым исходным кодом

Производители дифрактометров обычно предоставляют коммерческое программное обеспечение для проведения измерений рентгеновской отражательной способности. Однако, существует также несколько пакетов программного обеспечения с открытым исходным кодом: GenX – это широко используемое программное обеспечение с открытым исходным кодом для подгонки кривых рентгеновской отражательной способности. Оно реализовано на языке программирования Python и, следовательно, работает как в Windows, так и в Linux. Motofit работает в среде IGOR Pro и, таким образом, не может использоваться в операционных системах с открытым исходным кодом, таких как Linux. Micronova XRR работает на Java и, следовательно, доступна на любой операционной системе, на которой установлена Java. Reflex – это автономное программное обеспечение, предназначенное для моделирования и анализа рентгеновской и нейтронной отражательной способности многослойных структур. REFLEX – это удобная бесплатная программа, работающая на платформах Windows, Mac и Linux.