Кіріспе

Өте жазық оптикалық шыны – бір немесе екі жағынан жоғары дәлдікпен лапталған және жылтыратылған, әдетте бірнеше оннан нанометр (метрдің миллиард бөлігі) ішінде болатын оптикалық сападағы шыны. Олар монохроматты жарықпен бірге толқындық интерференция арқылы басқа беттердің (оптикалық, металл, керамикалық немесе басқа) жазықтығын (беттік дәлдігін) анықтау үшін қолданылады. Оптикалық жазық басқа бетке қойылғанда және жарықтандырылғанда, жарық толқындары жазықтың төменгі жағынан да, оның үстіндегі беттен де шағылысады. Бұл жұқа пленкалық интерференцияға ұқсас құбылысты тудырады. Шағылысқан толқындар бір-бірімен кедергілесіп, жарық және қараңғы жолақтар түрінде көрінетін интерференциялық жіптер үлгісін жасайды. Жіптер арасындағы қашықтық екі беттің біріндегі жазықтықтан ауытқуды көрсетеді және ол жердегі аралық тез өзгеретін болса, кішірек болады. Бұл картадағы теңбиіктік сызықтарымен салыстыруға болады. Жазық бет тең аралықтағы тік, параллель жіптермен көрсетіледі, ал басқа үлгілер тегіс емес беттерді көрсетеді. Екі іргелес жіп жарық толқынының жарты толқынына тең биіктік айырмашылығын көрсетеді, сондықтан жіптерді санау арқылы беттің биіктік айырмашылығын бір микрометрден де жақсы өлшеуге болады. Әдетте, оптикалық жазықтың екі бетінің тек біреуі ғана белгіленген толеранстыққа сәйкес жазық болады және бұл бет шынының жиегіндегі жебемен көрсетіледі. Оптикалық жазықтар кейде оптикалық жабынмен жабылады және арнайы мақсаттар үшін, мысалы, Фабри-Перо интерферометрінде немесе лазерлік резонаторда дәлдік айналары немесе оптикалық терезелері ретінде қолданылады. Оптикалық жазықтар спектрофотометрияда да қолданылады.

Тегістікті сынау

Оптикалық пластина әдетте тексерілетін тегіс бетке орналастырылады. Егер бет таза және жеткілікті түрде жарық шағылыстырса, сынама ақ жарықпен жарықтандырылғанда, радуга тәрізді кедергілік жолақтар пайда болады. Дегенмен, егер жұмыс дайындамасын жарықтандыру үшін монохроматты жарық қолданылса, мысалы гелий, төмен қысымды натрий немесе лазер, онда қара және ақ кедергілік жолақтардың тізбегі пайда болады. Бұл кедергілік жолақтар жұмыс дайындамасының оптикалық пластинаға қатысты тегістігін жарық толқынының ұзындығының бір бөлігіне дейін анықтайды. Егер екі бет те бірдей тегіс және бір-біріне параллель болса, онда кедергілік жолақтар пайда болмайды. Бірақ, әдетте, беттердің арасында ауа қалып қояды. Егер беттер тегіс болса, бірақ олардың арасында жұқа ауа қабаты болса, онда қабаттың бұрышын көрсететін тік, параллель кедергілік жолақтар пайда болады (яғни: қалың, тығыз жолақтар тік қабатты, ал сирек, кең жолақтар азырақ қабатты көрсетеді). Жолақтардың пішіні сынақ бетінің пішінін де көрсетеді, себебі иілген, контурлы немесе сақина тәрізді жолақтар беттегі биік және төмен нүктелерді, мысалы, дөңгелек жиектерді, төбелерді немесе ойыстарды, немесе дөңес және ойыс беттерді көрсетеді.

Дайындық

Оптикалық жазықтық пен тексерілетін бет өте таза болуы керек. Шаңның ең кішкентай бөлігінің араға түсуі нәтижені жоққа шығаруы мүмкін. Беттердегі бір жолақтың немесе саусақ іздерінің қалыңдығы олардың арасындағы кеңістіктің енін өзгертуге жеткілікті. Тексеру алдында беттер әдетте өте мұқият тазаланады. Көбінесе ацетон тазалау үшін қолданылады, себебі ол көптеген майларды ерітеді және қалдық қалдырмай толығымен буланады. Әдетте, бет "сүйреу" әдісімен тазартылады, онда құлпытассыз, сызықсыз мата ылғалдатылып, созылып, бет арқылы сүйретіледі, осылай барлық ластанулармен бірге тартылады. Бұл процесс әдетте ондаған рет қайталанады, беттің толығымен таза екеніне көз жеткізіледі. Алдын ала алынған шаң мен майлардың қайтадан ластануын болдырмау үшін әр жолы жаңа мата қолданылуы тиіс. Тексеру көбінесе таза бөлмеде немесе басқа шаңсыз ортада жүргізіледі, тазалау мен құрастыру арасында беттерге шаңның түсуіне жол бермейді. Кейде беттерді сығалап біріктіру арқылы жинауға болады, бұл жазықтыққа түсіп қалған шаңды кетіруге көмектеседі. Тексеру әдетте температурасы бақыланатын ортада жүргізіледі, шынының деформациясын болдырмау үшін, және өте тұрақты жұмыс бетінде орындалуы керек. Тексеруден кейін жазықтықтар әдетте қайта тазартылып, қорғаныш жабдықта сақталады және келесі рет қолданылғанға дейін температурасы бақыланатын ортада сақталады.

Жарықтандыру

Ең жақсы сынақ нәтижелері үшін, жалпақтарды жарықтандыру үшін тек бір толқын ұзындығынан тұратын монохроматикалық жарық қолданылады. Шеңберлерді дұрыс көрсету үшін жарық көзін орнату кезінде бірнеше факторларды ескеру қажет, мысалы, жарық пен бақылаушы арасындағы түсу бұрышы, жарық көзінің көздің қарамағына қатысты бұрыштық мөлшері және жарық көзінің шыныдан шағылған кездегі біркелкілігі. Монохроматикалық жарықтың көптеген көздерін пайдалануға болады. Көптеген лазерлер өте тар жолақты жарық шығарады және көбінесе қолайлы жарық көзі болып табылады. Гелий-неон лазері 632 нанометрде (қызыл) жарық шығарады, ал жиілігі екі еселенген Nd:YAG лазері 532 нм (жасыл) жарық шығарады. Әртүрлі лазерлік диодтар мен диодты сорғыланған қатты күйдегі лазерлер қызыл, сары, жасыл, көк немесе күлгін жарық шығарады. Түсті лазерлер кез келген түс шығаруға бейімделеді. Дегенмен, лазерлер лазерлік ұсақтау деп аталатын құбылысты да бастан кешіреді, ол шеңберлерде көрінеді. Бірнеше газ немесе металл бу шамдарын да пайдалануға болады. Төмен қысым мен токпен жұмыс істегенде, бұл шамдар әдетте әртүрлі спектрлік сызықтарда жарық шығарады, бір немесе екі сызық басым болады. Бұл сызықтар өте тар болғандықтан, шамдарды ең күшті сызықтарды бөліп алу үшін тар жолақты сүзгілермен біріктіруге болады. Гелий разрядты шам 587,6 нм-де (сары) сызық шығарады, ал сынап булы шам 546,1 нм-де (сары-жасыл) сызық шығарады. Кадмий буы 643,8 нм-де (қызыл) сызық шығарады, бірақ төмен қысымдағы натрий 589,3 нм-де (сары) сызық шығарады. Барлық шамдардың ішінде төмен қысымдағы натрийлік шам ғана бір сызықты шығарады, сондықтан сүзгі қажет емес. Шеңберлер тек жарық көзінің шағылысуында көрінеді, сондықтан оптикалық жазықтықты жарық түсетін бұрыштан қарау керек. Егер тік бұрыштан (түз жоғарыдан) қараса, жарық та тік бұрышта болуы керек. Көру бұрышы өзгергенде, жарық бұрышы да өзгеруі керек. Жарық оның бүкіл бетін жауып жатқан шағылысын көруге болатындай етіп орналастырылуы тиіс. Сонымен қатар, жарық көзінің бұрыштық мөлшері көзге қарағанда әлдеқайда үлкен болуы керек. Мысалы, егер қыздырғыш шам қолданылса, шеңберлер тек қана шамның жіпшесінің шағылысуында көрінуі мүмкін. Шамды жазықтыққа жақындату арқылы бұрыштық мөлшер ұлғаяды және жіпше бүкіл жазықтықты жауып, анық көрсеткіштер береді. Кейде шыныға біркелкі шағылыс беру үшін диффузор қолдануға болады, мысалы, мұздатылған шамдардың ішіндегі ұнтақ қабаты. Әдетте, жарық көзі жазықтыққа мүмкіндігінше жақын, ал көз мүмкіндігінше алыс болғанда өлшеулер дәл болады.

Интерференциялық жиектердің қалай пайда болуы

Диаграммада сыналатын бетке орнатылған оптикалық жазық бейнеленген. Егер екі бет мүлдем тегіс болмаса, олардың арасында шағын саңылау болады (көрсетілген), ол бет контурларына байланысты өзгереді. Монохроматикалық жарық (қызыл) шыны қабаттан өтіп, оптикалық жазықтың төменгі бетінен және сынақ бөлшегінің жоғарғы бетінен шағылады, ал екі шағылған сәулелер бірігіп, үстіне түседі. Алайда, төменгі бетінен шағылысқан сәуле ұзақ жолды басып өтеді. Қосымша жолдың ұзындығы беттер арасындағы қашықтықтан екі есеге тең. Сонымен қатар, төменгі бетке шағылысқан сәуле 180° фазалық кері айналымға ұшырайды, ал екінші сәуленің оптикалық жазықтықтың төменгі жағынан ішкі шағылысуы фазалық кері айналуға себеп болмайды. Шағылған жарықтың жарықтығы екі сәуле жолының ұзындығының айырмашылығына байланысты: Егер беттер арасындағы қашықтық тұрақты болмаса, бұл интерференция бетте "интерференциялық шеттер" деп аталатын жарық және қара сызықтар немесе жолақтар үлгісін байқауға әкеледі. Бұл картадағы контур сызықтарына ұқсас, төменгі сынақ бетінің биіктік айырмашылығын көрсетеді. Шет бойында беттер арасындағы арақашықтық тұрақты болады. Екі жақын жарық немесе қара шеттердің арасындағы жол ұзындығы айырмашылығы жарықтың бір толқын ұзындығына тең, сондықтан беттер арасындағы қашықтық айырмашылығы жарты толқын ұзындығын құрайды. Жарықтың толқын ұзындығы өте кішкентай болғандықтан, бұл әдіс тегістіктен өте кішкентай ауытқуларды өлшеуге мүмкіндік береді. Мысалы, қызыл жарықтың толқын ұзындығы шамамен 700 нм, сондықтан екі шет арасындағы биіктік айырмашылығы оның жартысы, яғни 350 нм, шамамен адам шашының диаметріне 1/100 бөлігіне тең.

Дәлдік пен қателер

Интуицияға қайшы, интерференциялық жиектер саңылаудың немесе жазықтың ішінде орналаспайды. Шындығында, интерференциялық жиектер жарық толқындары көзге немесе камераға жиналғанда пайда болады, осы арқылы бейне қалыптасады. Бейне – бір-бірімен кедергілесетін барлық конвергентті толқын фронттарының жиынтығы болғандықтан, сынақталатын беттің тегістігін оптикалық жазықтықтың тегістігіне қатысты ғана өлшеуге болады. Сынақталатын беттегі кез келген ауытқулар оптикалық жазықтықтағы ауытқуларға қосылады. Сондықтан, λ/4 тегістікке дейін жылтыратылған бетті λ/4 жазықтығымен тиімді сынау мүмкін емес, себебі қателердің қайда екенін анықтау қиын, бірақ оның контурларын λ/20 немесе λ/50 оптикалық жазықтығы сияқты жоғары дәлдікті жазықтықтармен сынау арқылы анықтауға болады. Бұл жарықтандыру мен көру бұрышының нәтижелердің дәлдігіне әсер ететінін де білдіреді. Жарықтандырылғанда немесе бұрыштан қарағанда, жарық саңылау арқылы өтуі керек қашықтық тікелей жарықтандырылғанда қарағанда ұзақ болады. Осылайша, түсу бұрышының өзгеруімен бірге жиектер де қозғалып, өзгеріп отырады. Жарықтандыру үшін де, көру үшін де нөлдік градус бұрыш ең қолайлы болып табылады. Өкінішке орай, мұны қалың көзбен көру мүмкін емес. Көптеген интерферометрлер осындай бұрышты алу үшін сәуле бөлушілерді пайдаланады. Нәтижелер жарықтың толқын ұзындығына байланысты болғандықтан, жарықтың толқын ұзындығы қысқа болса, дәлдікті арттыруға болады, бірақ гелий-неон лазерінен шығатын 632 нм сызығы көбінесе стандарт ретінде қолданылады. Ешбір бет толығымен тегіс болмайды. Сондықтан, оптикалық жазықтықтағы кез келген қателер немесе бұрмалаулар сынақ нәтижелеріне әсер етеді. Оптикалық жазықтық температура өзгерісіне өте сезімтал, бұл тепе-тең емес жылулық кеңеюден туындайтын уақытша беткі ауытқуларға әкелуі мүмкін. Шыны көбінесе нашар жылу өткізгіштігіне ие, сондықтан жылулық тепе-теңдікке жету үшін көп уақыт қажет. Жазықтықты тек қолымен ұстау нәтижелерге әсер ететін жылуды жеткілікті түрде беруі мүмкін, сондықтан балқытылған кварц немесе боросиликат сияқты жылулық кеңею коэффициенті төмен шынылар қолданылады. Шыны қатты және өте тұрақты болуы керек, әдетте бүгілуді болдырмау үшін қалың болады. Нанометрлік масштабта өлшеу кезінде ең кішкентай қысым да шыныны бүгіп, нәтижелерді бұрмалауы мүмкін. Сондықтан, сынақты орындауға болатын өте тегіс және тұрақты жұмыс беті қажет, бұл жазықтық пен сынақталатын беттің біріктірілген салмағынан құлауына жол бермейді. Көбінесе жұмыс беті ретінде дәл өңделген тақта қолданылады, бұл сынақ үшін тұрақты үстел бетін қамтамасыз етеді. Тіпті тегіс бетті алу үшін кейде сынақ басқа оптикалық жазықтықтың үстінде жүргізіледі, сынақталатын бет олардың арасында орналасады.

Абсолюттік тегіс

Абсолюттік тегістік – абсолюттік шкаламен өлшенген кезде, эталондық беткейдің (стандарттың) мүлдем бұрыштықтары жоқ дененің тегістігі. Кез келген оптикалық беткейдің тегістігі, оны калибрлеу үшін қолданылған бастапқы стандарттың тегістігіне қатысты болады. Сондықтан, екі беткейдің де белгілі бір бұрыштықтары болғандықтан, кез келген оптикалық беткейдің нақты, абсолюттік тегістігін анықтаудың көптеген жолдары бар. Тек сұйық беткей ғана дерлік абсолюттік тегістікке жете алады, мысалы, сынап, және кейде λ/100-ге дейін тегістік көрсеткіштеріне жетеді, бұл тек 6,32 нм (632 нм/100) ауытқуға тең. Дегенмен, сұйық беткейлерді дұрыс пайдалану және реттеу өте қиын, сондықтан олар көбінесе басқа беткейлерді калибрлеу үшін стандартты беткейді дайындағанда ғана қолданылады. Абсолюттік тегістікті анықтаудың тағы бір әдісі – "үш беткейлі сынақ". Бұл сынақта, бірдей өлшем мен пішіндегі үш беткей бір-бірімен салыстырылады. Үлгілерді және олардың әртүрлі фазалық өзгерістерін талдау арқылы әр беткейдің абсолюттік контурларын анықтауға болады. Бұл әдетте кемінде он екі жеке сынақ талап етеді, әр беткейді кем дегенде екі түрлі бағыттағы әрбір басқа беткеймен салыстырып тексеруді қамтиды. Қателерді жою үшін, кейде беткейлер жатқанда емес, шетінде тіреліп сыналады, бұл иілудің алдын алуға көмектеседі.

Қалқыту

Сырқалу ауаның беттер арасынан почти толығымен шығарылуынан пайда болады, нәтижесінде беттер бір-біріне жабысып, ішінара аралықтағы вакуум арқылы мықты байланысады. Беттер неғұрлым тегіс болса, соғұрлым жақсы сырқалады, әсіресе егер тегістік шеттеріне дейін жетсе. Егер екі бет өте тегіс болса, олар соншалықты қатты жабысып қалуы мүмкін, оларды ажырату үшін үлкен күш қажет болады. Интерференциялық жолақтар әдетте оптикалық жазықтық сынақ бетіне сырқала бастағанда ғана пайда болады. Егер беттер таза және өте тегіс болса, олар алғашқы жанасудан кейін дерлік бірден сырқала бастайды. Сырқалу басталғаннан кейін, ауа бірте-бірте беттер арасынан шығарылғанда, олардың арасында оптикалық клин пайда болады. Интерференциялық жолақтар осы клинге перпендикуляр орналасады. Ауа шығарылғанда, жолақтар ең қалың жерге қарай жылжиды, кеңейеді және саны азаяды. Ауа шығарылғанда, беттерді бірге ұстап тұрған вакуум күшейеді. Оптикалық жазықтықтың бетке толығымен сырқалуына рұқсат етілмеуі керек, әйтпесе оларды ажырату кезінде сызылып немесе тіпті сындырылуы мүмкін. Кейде, егер бірнеше сағатқа қалдырылса, оларды босату үшін ағаш блок қажет болуы мүмкін. Оптикалық жазықтықтың тегістігін тексеру, пайда болатын интерференциялық үлгіге қол жеткеннен кейін жүргізіледі, содан кейін беттер толығымен сырқалуға дейін ажыратылады. Клин бұрышы өте кішкентай болғандықтан және аралық өте тар болғандықтан, сырқалу бірнеше сағатқа созылуы мүмкін. Жазықтықты бетке қатысты жылжыту сырқалу процесін жеделдетуі мүмкін, бірақ ауаны күшпен шығаруға тырысу тиімсіз. Егер беттер жеткілікті тегіс болмаса, бетінде майлы пленка немесе ластану болса, немесе шаң бөлшектері беттер арасына түссе, сырқалу мүлдем болмайды. Сондықтан, дәл өлшеу үшін беттер өте таза және кез келген қоқыстан таза болуы керек.

Беттің пішінін анықтау

Шеңберлер топографиялық картадағы сызықтар сияқты әрекет етеді, онда шеңберлер үнемі беттердің арасындағы кенеге перпендикуляр болады. Бұрауды бастаған кезде ауа қырына үлкен бұрыш пайда болады және жиектер топографиялық желі сызықтарына ұқсайды. Егер жиектер түзу болса, онда бет тегіс болады. Егер беттерді толық бұралып, параллельге айналуға рұқсат етсе, тік жиектер тек қара жиек қалғанша кеңейеді және олар мүлдем жоғалады. Егер бет тегіс болмаса, тор сызықтарында бет топографиясын көрсететін қисықтар болады. Түзу жиектері иілген болса, бұл жоғары немесе төмен жерді білдіреді. Ортасында "V" пішіні бар түзу жиектер ортадан өтетін жота немесе аңғарды көрсетеді, ал ұштарына жақын қисық түзу жиектер дөңгелектенген немесе көтерілген жапырақты жиектерді көрсетеді. Егер беттері толық жазық болмаса, қайырудың жалғасуымен жиектер кеңейіп, бүгілуді жалғастырады. Толық сызатын кезде олар беттің ауытқуларын көрсететін контурлық топографиялық сызықтарға ұқсайды. Дөңгеленген жиектер жұмсақ көлбеу немесе сәл цилиндрлі беттерді көрсетеді, ал жиектердегі тығыз бұрыштар беттің өткір бұрыштарын көрсетеді. Шағын дөңгелек шеңберлер дөңгелектер немесе ойықтар болуы мүмкін, ал концентрикалық шеңберлер конустық пішінді білдіреді. Біркелкі емес орналасқан концентрикалық шеңберлер құрғақ немесе қуыс бетті көрсетеді. Беттер толығымен бүліну алдында, бұл жиектер ауа клинінің қосымша бұрышынан бұрмаланады, ауа баяу сыртқа шығарылғанда контурларға айналады. Бір қара жиектің қалыңдығы бірдей, ол жиектің бүкіл ұзындығы бойымен жүретін сызықты ұстанады. Жақын орналасқан жарық жиек толқын ұзындығының 1/2 -інен тар немесе 1/2 -інен кең толқын ұзындығын көрсетеді. Қашықтар неғұрлым жіңішке және тығыз болса, еңіс тегіс болады, ал кең жиектер бір-бірінен алыс орналасқан, еңіс тегіс болады. Өкінішке қарай, тек қана жиектің бір көрінісінен оның жоғары немесе төмен қарай қарайтын бағытты көрсетіп отырғанын айту мүмкін емес, өйткені іргелес жиектер екі жаққа да бара алады. Концентрикалық шеңберлер сақинасы бетінің қуыс немесе құрғақ екенін көрсетеді, бұл қуыс маска иллюзиясына ұқсас әсер. Жер бетін пішінін тексерудің үш әдісі бар, бірақ ең көп тараған әдіс - "бармақ қысымы бойынша сынау". Бұл сынақта, жиектердің қай жаққа қозғалатынын тексеру үшін, жазық жерге аздап қысым жасалады. Жиектер кенедің тар шетінен алыстайды. Егер сынақ беті қуыс болса, алдарындағы сақиналардың ортасына қысым жасалса, тегіс беті сәл бүгіледі және жиектері ішкі жаққа қарай қозғалады. Алайда, егер бет пішінді болса, онда жазық бетке сол нүктеде бетпен жанасады, сондықтан иілуге орын болмайды. Осылайша, жиектері бір жерде қалып, тек біршама кеңейе түседі. Егер қысымды жазық қабаттың шеттеріне қолдансақ, ұқсас нәрсе болады. Егер бет пішінді болса, онда жалпақ сәл шайқалады, бұл жиегі бармаққа қарай қозғалады. Алайда, егер бет қуыс болса, онда жалпақ сәл бүгіледі және жиектер саусақтан ортаға қарай жылжытылады. Бұл "бармақ" қысымды сынақ деп аталса да, шыныны қыздырудан аулақ болу үшін ағаш таяқ немесе басқа құрал жиі қолданылады (көп жағдайда тіс тістеушінің салмағы жеткілікті қысымды құрайды). Басқа әдіс - жалпақ жерді ақ жарыққа түсіріп, жаңбырлы жиектерді жасауға мүмкіндік беру, содан кейін ортаға басып қою. Егер бет қуыс болса, шетінде нүктелі байланыс болады, ал сыртқы жиек қараңғы болады. Егер бет пішінді болса, ортада нүкте болады, ал орталық жиек қараңғы болады. Болаттан жасалған бояуларды қатаюға ұқсас, жиектер жиектің тар жағында сәл қоңыр, ал кең жағында көк болады, сондықтан егер бет қуыс болса, көк түсті сақиналардың ішінде болады, бірақ егер бүктелген болса, көк сыртында болады. Үшінші әдіс - көзді жазық жерге қарай жылжыту. Көзді нөл градус бұрыштан көлбеу бұрыштықа жылжытқанда, жиектері қозғалғандай болады. Егер сынақ беті қуыс болса, жиектері ортаға қарай қозғалады. Егер бет пішінді болса, жиектері ортадан алыстап кетеді. Жер бетін нақты анықтау үшін сынақты әдетте кем дегенде екі түрлі бағытта жүргізу керек. Тор сызықтары ретінде, жиектер тордың бір бөлігін ғана білдіреді, сондықтан жер бетінде өтетін аңғар тек аңғарға параллель жүретін болса, жиекте кішкене бүгілу ретінде көрінуі мүмкін. Алайда, егер оптикалық жазықтықты 90 градусқа айналдырып, қайтадан сынап көрсек, жиектер аңғарға перпендикуляр жүреді және ол жиектердегі V немесе U пішінді контурлар қатары ретінде көрінеді. Бірден көп бағытты сынап, бетінің жақсы картасын жасауға болады.

Ұзақ мерзімді тұрақтылық

Қажетті күтім мен пайдалану кезінде оптикалық жазықтықтар ұзақ уақыт бойы өз жазықтығын сақтауы керек. Сондықтан, балқытылған кварц сияқты, төмен жылулық кеңею коэффициентіне ие қатты шынылар көбінесе өндіріс материалы ретінде қолданылады. Алайда, бөлме температурасында жүргізілген зертханалық өлшеулер балқытылған кварцтан жасалған оптикалық жазықтықтардың 1017–1018 Па·с шамасындағы материалдың тұтқырлығына сәйкес келетін қозғалыс танытқанын көрсетті. Бұл он жыл ішінде бірнеше нанометрге дейін ауытқуға алып келеді. Оптикалық жазықтықтың жазықтығы бастапқы сынақ жазықтығының жазықтығына қатысты болғандықтан, өндіріс кезіндегі нақты (абсолюттік) жазықтықты анықтау үшін сұйық жазықтықты қолдана отырып интерферометрлік сынақ жүргізу немесе үш жазықтықты сынау қажет. Үш жазықтықтың интерференциялық суреті компьютерде талданады. Жүргізілген бірнеше сынақтар балқытылған кварцтың бетінде ауытқулардың пайда болатынын көрсетті. Алайда, сынақтар деформацияның эпизодтық болуын көрсетті, яғни сынақ кезінде кейбір жазықтықтар деформацияланады, ал кейбіреулері ішінара деформацияланады, ал қалғандары өзгеріссіз қалады. Деформацияның себебі белгісіз және адам көзімен өмір бойы байқауға болмайды. (λ/4 жазықтықтың қалыпты беттік ауытқуы 158 нанометрді құрайды, ал λ/20 жазықтықтың қалыпты ауытқуы 30 нм-ден асады.) Бұл деформация тек балқытылған кварцта ғана байқалды, ал содалы әйнекте 1041 Па·с тұтқырлық көрсетіледі, бұл шамамен бірнеше есе жоғары.