Кіріспе
Үлкен жартылай өткізгіш пластиналарды сақтау және тасымалдау үшін қолданылатын қорап. FOUP (Front Opening Unified Pod немесе Front Opening Universal Pod) – кремний пластиналарын бақыланатын ортада қауіпсіз және сенімді ұстауға, сондай-ақ пластиналарды өңдеу немесе өлшеу үшін машиналар арасында тасымалдауға арналған арнайы пластикалық тасымалдағыш. FOUP-тар 1990 жылдардың ортасында алғашқы 300 мм пластиналарды өңдеу құралдарымен бірге пайда бола бастады. Пластиналардың үлкен өлшемдері және салыстырмалы түрде нашар қаттылығы SMIF пакеттерінің тиімді форматта болуына мүмкіндік бермеді. FOUP стандарттарын SEMI және SEMI мүшелері FOUP-тар мен олармен өзара әрекеттесетін барлық жабдықтардың үздіксіз жұмыс істеуін қамтамасыз ету үшін әзірледі. SMIF пакетінен FOUP дизайнына көшу кезінде пластиналарды ұстауға арналған алынып тасталатын кассеталар пластиналардың бекітілген бағаналарымен ауыстырылды. Есік төменгі жағынан алдыңғы жағына көшірілді, бұл автоматтандырылған өңдеу жабдықтарына пластиналарға қол жеткізуге мүмкіндік берді. 300 мм FOUP үшін қадам 10 мм-ге тең, ал 13 ұялы FOUP үшін қадам 20 мм-ге дейін болуы мүмкін. Толыққанды 25 пластинасы бар FOUP-тың салмағы 7-9 килограмм аралығында болады, сондықтан автоматтандырылған материалдарды тасымалдау жүйелері барлық ең кішкентай емес өндіріс орындары үшін қажет. Бұны қамтамасыз ету үшін әрбір FOUP-та жүктеу портына орналастыруға және AMHS (автоматтандырылған материалдарды тасымалдау жүйесі) арқылы басқа өңдеу құралдарына немесе қоймаға (мысалы, қоймаға немесе трассаның астына) тасымалдауға мүмкіндік беретін байланыс пластиналары мен интерфейс тесіктері бар. FOUP-тар құралдардағы немесе AMHS-тегі RF оқырмандарымен анықтауға мүмкіндік беретін RF тегтерін пайдалана алады. FOUP-тар клиенттің тілегіне қарай әртүрлі түстерде болуы мүмкін. FOUP-тар құрылғының өнімділігін арттыру мақсатында өңдеу, өлшеу және сақтау құралдарымен тазалау газын қолдана бастады. FOUP-ты FOUP қоймасында немесе FOUP-қа қол жеткізетін жабдықта тазалауға болады.
FOUP (an acronym for Front Opening Unified Pod or Front Opening Universal Pod) is a specialized plastic carrier designed to hold silicon wafers securely and safely in a controlled environment, and to allow the wafers to be transferred between machines for processing or measurement. FOUPs began to appear along with the first 300mm wafer processing tools in the mid 1990s. The size of the wafers and their comparative lack of rigidity meant that SMIF pods were not a viable form factor. FOUP standards were developed by SEMI and SEMI members to ensure that FOUPs and all equipment that interacts with FOUPs work together seamlessly. Transitioning from a SMIF pod to a FOUP design, the removable cassette used to hold wafers was replaced by fixed wafer columns. The door was relocated from a bottom orientation to a front orientation, where automated handling equipment can access the wafers. Pitch for a 300 mm FOUP is 10 mm, while 13 slot FOUPs can have a pitch up to 20 mm. The weight of a fully loaded 25 wafer FOUP is between 7 and 9 kilograms which means that automated material handling systems are essential for all but the smallest of fabrication plants. To allow this, each FOUP has coupling plates and interface holes to allow the FOUP to be positioned on a load port, and to be picked up and transferred by the AMHS (Automated Material Handling System) to other process tools or to storage locations such as a stocker or undertrack storage. FOUPs may use RF tags that allow them to be identified by RF readers on tools or AMHS. FOUPs are available in several colors, depending on the customer's wish. FOUPs have begun to have the capability to have a purge gas applied by process, measurement and storage tools in an effort to increase device yield. FOUPs can be purged inside a FOUP stocker or at the equipment accessing the FOUP.
FOSB
FOSB — Front Opening Shipping Box деген сөздің аббревиатурасы. FOSB-тер өндіріс орындары арасында пластиналарды тасымалдауға қолданылады.