Введение

Контейнер, используемый для хранения и транспортировки больших полупроводниковых пластин.

FOUP (акроним от Front Opening Unified Pod или Front Opening Universal Pod) – это специализированный пластиковый контейнер, предназначенный для надежной и безопасной фиксации кремниевых пластин в контролируемой среде, а также для их перемещения между оборудованием для обработки или измерений. Контейнеры FOUP появились вместе с первыми установками для обработки 300-мм пластин в середине 1990-х годов. Размер пластин и их относительная хрупкость сделали SMIF-контейнеры непрактичным вариантом. Стандарты FOUP были разработаны SEMI и ее членами для обеспечения бесперебойной работы FOUP и всего оборудования, с которым они взаимодействуют. При переходе от SMIF-контейнера к конструкции FOUP съемная кассета для удержания пластин была заменена на фиксированные колонны для пластин. Дверца была перемещена с нижней части на переднюю, где автоматизированное оборудование может получить доступ к пластинам. Шаг для 300-мм FOUP составляет 10 мм, а для FOUP с 13 слотами – до 20 мм. Вес полностью загруженного FOUP на 25 пластин составляет от 7 до 9 килограммов, что означает, что автоматизированные системы обработки материалов необходимы на всех, кроме самых маленьких, производственных предприятиях. Для этого каждый FOUP оснащен соединительными пластинами и интерфейсными отверстиями, позволяющими разместить его на порту загрузки, а затем захватить и переместить с помощью AMHS (автоматизированной системы обработки материалов) к другому технологическому оборудованию или местам хранения, таким как склад или хранилище под оборудованием. FOUP могут использовать RFID-метки для идентификации с помощью RFID-считывателей на оборудовании или в AMHS. FOUP доступны в различных цветах по желанию заказчика. FOUP начали оснащаться возможностью подачи продувочного газа инструментами для обработки, измерений и хранения с целью повышения выхода годных устройств. Продувка FOUP может осуществляться внутри склада FOUP или на оборудовании, работающем с FOUP.

FOSB

FOSB – это аббревиатура от Front Opening Shipping Box (коробка для отправки с открывающимся фасадом). FOSB используются для транспортировки кремниевых пластин между производственными предприятиями.