Жан Амéдэ Хёрни: Пионер полупроводниковой технологии

Введение

Жан Амеде Хоерни (26 сентября 1924 – 12 января 1997) – американский инженер швейцарского происхождения. Он был одним из пионеров кремниевых транзисторов и членом так называемой "предательской восьмерки". Он разработал планарную технологию – важный метод для надежного производства полупроводниковых приборов, таких как транзисторы и интегральные схемы.

Биография

Хоерни родился 26 сентября 1924 года в Женеве, Швейцария. Он получил степень бакалавра математики в Женевском университете и две докторские степени по физике: одну в Женевском университете, другую – в Кембриджском университете. В 1952 году он переехал в Соединенные Штаты для работы в Калифорнийском технологическом институте, где познакомился с Уильямом Шокли, физиком из Bell Labs, тесно вовлеченным в создание транзистора. Через несколько лет Шокли пригласил Хоерни работать с ним в недавно основанном подразделении Shockley Semiconductor Laboratory компании Beckman Instruments в Маунтин-Вью, Калифорния. Однако странное поведение Шокли побудило так называемую «предательскую восьмерку» (Хоерни, Джулиус Бланк, Виктор Гринич, Юджин Клейнер, Джей Ласт, Гордон Мур, Роберт Нойс и Шелдон Робертс) покинуть его лабораторию и основать корпорацию Fairchild Semiconductor. В 1958 году Хоерни посетил собрание Электрохимического общества, где инженер Bell Labs Мохамед Аталла представил доклад о пассивации p–n переходов оксидом и продемонстрировал пассивирующий эффект диоксида кремния на поверхности кремния. Хоерни заинтересовался этим и однажды утром, размышляя об устройстве Аталлы, пришел к концепции планарной технологии. Планарный процесс был критически важен для изобретения кремниевой интегральной схемы Робертом Нойсом. Нойс развил работу Хоерни, предложив концепцию интегральной схемы, которая добавляла слой металла поверх базовой структуры Хоерни для соединения различных компонентов, таких как транзисторы, конденсаторы или резисторы, расположенных на одном кристалле кремния. Планарный процесс обеспечивал эффективный способ реализации интегральной схемы, превосходящий более ранние разработки. Вместе с выпускниками «предательской восьмерки» Джеем Ластом и Шелдоном Робертсом Хоерни основал Amelco (ныне известную как Teledyne) в 1961 году. В 1964 году он основал Union Carbide Electronics, а в 1967 году – Intersil, где стал пионером низковольтных КМОП-интегральных схем. В 1969 году он был удостоен медали Эдварда Лонгстрета Института Франклина, а в 1972 году – премии Макдауэлла. Ему было 72 года.

Hoerni was born on September 26, 1924, in Geneva, Switzerland. He received his B. S. in Mathematics from the University of Geneva and two Ph. D. s in physics; one from the University of Geneva and the other from the University of Cambridge. In 1952, he moved to the United States to work at the California Institute of Technology, where he became acquainted with William Shockley, a physicist at Bell Labs who was intimately involved with the creation of the transistor. A few years later, Shockley recruited Hoerni to work with him at the newly founded Shockley Semiconductor Laboratory division of Beckman Instruments in Mountain View, California. But Shockley's strange behavior compelled the so called "traitorous eight" (Hoerni, Julius Blank, Victor Grinich, Eugene Kleiner, Jay Last, Gordon Moore, Robert Noyce and Sheldon Roberts) to leave his laboratory and create the Fairchild Semiconductor corporation. In 1958, Hoerni attended an Electrochemical Society meeting, where Bell Labs engineer Mohamed Atalla presented a paper about the passivation of p–n junctions by oxide, and demonstrated silicon dioxide's passivating effect on a silicon surface. Hoerni was intrigued, and came up with the concept of planar technology one morning while thinking about Atalla's device. The planar process was critical in the invention of Silicon Integrated circuit by Robert Noyce. Noyce built on Hoerni's work with his conception of an integrated circuit, which added a layer of metal to the top of Hoerni's basic structure to connect different components, such as transistors, capacitors, or resistors, located on the same piece of silicon. The planar process provided a powerful way of implementing an integrated circuit that was superior to earlier conceptions of the device. Along with the "traitorous eight" alumni Jay Last and Sheldon Roberts, Hoerni founded Amelco (known now as Teledyne) in 1961. In 1964, he founded Union Carbide Electronics, and in 1967, he founded Intersil, where he became a pioneer of low voltage CMOS Integrated Circuits. He was awarded the Edward Longstreth Medal from the Franklin Institute in 1969 and the McDowell Award in 1972. He was 72.

Личная жизнь

Он был женат на Энн Мари Хёрни и имел троих детей: Энни Блэквелл, Сьюзан Киллхэм и Майкл Хёрни. У него был один брат, Марк Хёрни. В 1993 году Хёрни женился на Дженнифер Уилсон.

Благотворительность

Заядлый альпинист, Хоерни часто посещал горы Каракорум в Пакистане и был глубоко тронут бедностью горного народа балти, проживавшего там. Он внес основной вклад, 30 000 долларов, в проект Грега Мортенсона по строительству школы в отдаленной деревне Корфе, а позже основал Институт Центральной Азии с целевым капиталом в 1 миллион долларов, чтобы продолжать оказывать им помощь и после своей смерти. Хоерни назначил Грега Мортенсона первым исполнительным директором организации, которая продолжает строить школы в Пакистане и Афганистане. В декабре 2007 года Майкл Риордан опубликовал статью о Хоерни и его планарном методе в журнале IEEE Spectrum. Автор утверждал, что Джей Ласт отметил невероятную выносливость Хоерни и его способность часами ходить, обходясь небольшим количеством еды и воды.

Патенты

1962, Патент США 3,025,589 A (Espanet) «Способ изготовления полупроводниковых приборов», присвоенный компании Fairchild Camera and Instrument Corp.
1962, Патент США 3,064,167 A (Espanet) «Полупроводниковое устройство», присвоенное компании Fairchild Camera and Instrument Corp.
1963, Патент США 3,108,914 A (Espanet) «Процесс изготовления транзисторов», присвоенный компании Fairchild Camera and Instrument Corp.