Введение

Процесс верификации поведения интегральной схемы

Физическая верификация – это процесс, посредством которого дизайн макета интегральной схемы (IC layout) проверяется с помощью программных средств EDA для обеспечения корректной электрической и логической функциональности и технологичности. Верификация включает проверку правил проектирования (DRC), сопоставление макета со схемой (LVS), XOR (исключающее ИЛИ), проверку на наличие антенных эффектов и электрическую проверку правил (ERC).

Проверка правил проектирования (DRC)

DRC проверяет соответствие разводки всем технологическим требованиям. DRC также проверяет плотность слоев для химико-механической полировки (CMP).

Layout Versus Schematic (LVS) (Схема по сравнению с макетом)

LVS проверяет функциональность схемы. Из топологии извлекается список соединений и сравнивается с исходным списком соединений, полученным в результате логического синтеза или проектирования схемы.

Проверка XOR

Эта проверка обычно выполняется после металлической обработки, где сравниваются исходная и измененная базы данных. Это делается для подтверждения того, что необходимые изменения были внесены и не произошло случайных нежелательных изменений. Этот шаг включает сравнение двух баз данных макета/GDS посредством операции XOR над геометрическими объектами макета. Результатом этой проверки является база данных, содержащая все несовпадающие геометрические объекты в обоих макетах.

Проверка антенны

Антенна по сути представляет собой металлическое соединение, то есть проводник, такой как поликремний или металл, который не имеет электрического контакта с кремнием или не заземлен на этапах обработки пластины. В процессе производства накопление заряда может происходить на антенне во время определенных технологических операций, например, плазменного травления, использующего сильно ионизированную среду для травления. Если соединение с кремнием отсутствует, заряды могут накапливаться в соединении до такой степени, что происходит быстрый разряд, приводящий к необратимому физическому повреждению тонкого оксида затвора транзистора. Это быстрое и разрушительное явление известно как эффект антенны. Ошибки, связанные с антеннами, можно устранить, добавив небольшой диод для безопасного разряда узла или разделив антенну, проложив соединение до другого металлического слоя и затем обратно вниз. Коэффициент антенны определяется как отношение физической площади проводников, составляющих антенну, к общей площади оксида затвора, к которой антенна электрически подключена.