Введение

Оксид гафния (IV) - неорганическое соединение с формулой HfO2. Этот бесцветный твердый элемент, также известный как диоксид гафния или гафния, является одним из наиболее распространенных и стабильных соединений гафния. Это электрический изолятор с полосой пробела 5,3 ~ 5,7 ЭВ. Диоксид гафния является промежуточным продуктом в некоторых процессах, которые дают металл гафний. Оксид гафния (IV) довольно инертен. Он реагирует с сильными кислотами, такими как концентрированная серная кислота и с сильными основаниями. Он медленно растворяется в фтористоводородной кислоте, получая фтористоводородное анион. При повышенных температурах он вступает в реакцию с хлором в присутствии графита или тетрахлорида углерода, получая тетрахлорид гафния.

Структура

Гафния обычно имеет ту же структуру, что и циркония (ZrO2). В отличие от TiO2, который имеет шесть координат Ti во всех фазах, циркония и гафния состоят из семи координатных металлоцентров. Экспериментально наблюдалось множество других кристаллических фаз, включая кубический фторит (Fmm), тетрагональный (P42/nmc), моноклинический (P21/c) и орторомбический (Pbca и Pnma). Также известно, что гафния может принимать две другие орторомбические метастабильные фазы (космическая группа Pca21 и Pmn21) в широком диапазоне давлений и температур, предположительно являясь источниками ферроэлектричества, наблюдаемого в тонких слоях гафнии. Тонкие пленки оксидов гафния, осажденные в результате осаждения атомного слоя, обычно кристаллические. Поскольку полупроводниковые устройства выигрывают от наличия аморфных пленок, исследователи сплавили оксид гафния с алюминией или кремнией (образуя силикаты гафния), которые имеют более высокую температуру кристаллизации, чем оксид гафния.

Приложения

Хафния используется в оптических покрытиях, а также в качестве высокого κ диэлектрика в DRAM-конденсаторах и в передовых металлоксидных полупроводниковых устройствах. Оксиды на основе гафния были введены компанией Intel в 2007 году в качестве замены оксида кремния в качестве изолятора ворот в транзисторах полевого эффекта. Преимущество транзисторов заключается в их высокой диэлектрической константе: диэлектрическая константа HfO2 в 4 × 6 раз выше, чем у SiO2. Диэлектрическая константа и другие свойства зависят от способа осаждения, состава и микроструктуры материала. Оксид гафния (а также допированный и дефицитный кислородом оксид гафния) привлекает дополнительный интерес как возможный кандидат для резистивных коммутационных памятей и совместимых с CMOS транзисторов с ферроэлектрическим эффектом поля (FeFET-память) и чипов памяти. Из-за своей очень высокой температуры плавления гафния также используется в качестве огнеупорного материала для изоляции таких устройств, как термопары, где она может работать при температуре до 2500 °C. Многослойные пленки из диоксида гафния, кремния и других материалов были разработаны для использования в пассивном охлаждении зданий. Фильмы отражают солнечный свет и излучают тепло на длинах волн, которые проходят через атмосферу Земли, и могут иметь температуру на несколько градусов ниже, чем окружающие материалы в тех же условиях.