Введение

Материал, обладающий электрической проводимостью, промежуточной между проводником и изолятором.

Полупроводник – это материал, значение электрической проводимости которого лежит между проводимостью проводника, такого как медь, и изолятора, такого как стекло. Его удельное сопротивление обычно уменьшается с повышением температуры, в то время как для металлов наблюдается обратная зависимость. Во многих случаях их проводящие свойства можно полезно изменить, вводя примеси ("допирование") в кристаллическую структуру. Когда в одном и том же кристалле существуют две области с различным допированием, формируется полупроводниковый переход. Поведение носителей заряда, включающих электроны, ионы и электронные дырки, на этих переходах является основой для диодов, транзисторов и большей части современной электроники. Примеры полупроводников включают кремний, германий, арсенид галлия и элементы, расположенные вблизи так называемой "металлоидной лестницы" в периодической таблице. После кремния, арсенид галлия является вторым по распространенности полупроводником и используется в лазерных диодах, солнечных элементах, интегральных схемах для микроволнового диапазона частот и других устройствах. Кремний является ключевым элементом для изготовления большинства электронных схем. Полупроводниковые приборы могут демонстрировать различные полезные свойства, такие как более легкое прохождение тока в одном направлении, переменное сопротивление и чувствительность к свету или теплу. Поскольку электрические свойства полупроводникового материала можно изменять с помощью допирования и воздействия электрических полей или света, приборы, изготовленные из полупроводников, могут использоваться для усиления, переключения и преобразования энергии. Термин "полупроводник" также применяется к материалам, используемым в высокоемких кабелях среднего и высокого напряжения в качестве части их изоляции; эти материалы часто представляют собой пластик XLPE (сшитый полиэтилен) с добавлением технического углерода. Проводимость кремния увеличивается при добавлении небольшого количества (порядка 1 из 10⁸) пятивалентных (сурьмы, фосфора или мышьяка) или трехвалентных (бора, галлия, индия) атомов. Этот процесс известен как допирование, а полученные полупроводники называются допированными или внешними полупроводниками. Помимо допирования, проводимость полупроводника можно повысить, увеличив его температуру. Это противоречит поведению металла, у которого проводимость уменьшается с ростом температуры. Современное понимание свойств полупроводников опирается на квантовую физику для объяснения движения носителей заряда в кристаллической решетке. Допирование значительно увеличивает количество носителей заряда в кристалле. Если допированный полупроводник содержит свободные дырки, он называется "p-типа", а если содержит свободные электроны – "n-типа". Полупроводниковые материалы, используемые в электронных устройствах, допируются в точно определенных условиях для контроля концентрации и областей допантов p- и n-типа. Один кристалл полупроводникового прибора может содержать множество областей p- и n-типа; p–n-переходы между этими областями обеспечивают полезные электронные характеристики. С помощью зонда горячей точки можно быстро определить, является ли образец полупроводника p-типа или n-типа. Некоторые свойства полупроводниковых материалов были обнаружены в середине XIX и в первые десятилетия XX века. Первым практическим применением полупроводников в электронике стало создание в 1904 году детектора "кошачьих усов" – примитивного полупроводникового диода, использовавшегося в ранних радиоприемниках. Развитие квантовой физики привело к изобретению транзистора в 1947 году и интегральной схемы в 1958 году.

Изменчивая электропроводность

Полупроводники в своем естественном состоянии являются плохими проводниками, поскольку для протекания тока необходим поток электронов, а валентные зоны полупроводников заполнены, что препятствует свободному движению новых электронов. Разработаны различные методы, позволяющие полупроводниковым материалам проявлять свойства проводников, такие как легирование или создание управляющего электрода. Эти модификации приводят к двум типам полупроводников: n-типа и p-типа, которые характеризуются избытком или недостатком электронов соответственно. Сбалансированное количество электронов позволило бы току протекать по всему материалу.

Гетеросоединения

Гетеропереходы возникают при соединении двух полупроводниковых материалов с различной проводимостью. Например, конфигурация может состоять из германия, легированного p-типом, и германия, легированного n-типом. Это приводит к обмену электронами и дырками между полупроводниками с разной проводимостью. Германий n-типа будет иметь избыток электронов, а германий p-типа – избыток дырок. Этот перенос происходит до тех пор, пока не будет достигнуто равновесие посредством процесса, называемого рекомбинацией, в результате которого мигрирующие электроны из n-типа вступают в контакт с мигрирующими дырками из p-типа. Результатом этого процесса является узкая полоса неподвижных ионов, создающая электрическое поле в области перехода. Контролируя состав полупроводника и электрический ток, можно управлять свойствами излучаемого света. Эти полупроводники используются при создании светодиодов и флуоресцентных квантовых точек.

Высокая теплопроводность

Полупроводники с высокой теплопроводностью могут использоваться для отвода тепла и повышения эффективности теплового управления в электронике. Они играют важную роль в электромобилях, светодиодах высокой яркости и силовых модулях, а также в других областях применения.

Преобразование тепловой энергии

Полупроводники обладают высокими термоэлектрическими коэффициентами мощности, что делает их пригодными для использования в термоэлектрических генераторах, а также высоким термоэлектрическим качеством, что делает их пригодными для использования в термоэлектрических охладителях.

Подготовка полупроводниковых материалов

Почти все современные электронные технологии включают в себя использование полупроводников, причем наиболее важным аспектом является интегральная схема (ИС), которая содержится в настольных компьютерах, ноутбуках, сканерах, сотовых телефонах и других электронных устройствах. Полупроводники для интегральных схем производятся массово. Для создания идеального полупроводникового материала химическая чистота имеет первостепенное значение. Любое небольшое несовершенство может оказать существенное влияние на поведение полупроводникового материала из-за масштаба, в котором используются материалы. Различия между этими материалами можно понять с точки зрения квантовых состояний электронов, каждое из которых может содержать ноль или один электрон (в соответствии с принципом исключения Паули). Эти состояния связаны с электронной зонной структурой материала. Электрическая проводимость возникает из-за присутствия электронов в состояниях, которые делокализованы (распространены по всему материалу), однако для транспортировки электронов состояние должно быть частично заполнено, содержа электрон лишь часть времени. Если состояние всегда занято электроном, оно инертно и блокирует прохождение других электронов через него. Энергии этих квантовых состояний критически важны, поскольку состояние частично заполнено только в том случае, если его энергия близка к уровню Ферми (см. статистику Ферми-Дирака). Высокая проводимость материала обусловлена большим количеством частично заполненных состояний и значительной степенью делокализации состояний. Металлы являются хорошими проводниками электричества и имеют много частично заполненных состояний с энергиями, близкими к их уровню Ферми. Изоляторы, напротив, имеют мало частично заполненных состояний, а их уровень Ферми находится в запрещенной зоне с небольшим количеством энергетических состояний. Важно отметить, что изолятор можно сделать проводящим, увеличив его температуру: нагрев обеспечивает энергию для перехода некоторых электронов через запрещенную зону, индуцируя частично заполненные состояния как в валентной зоне (полосе состояний ниже запрещенной зоны), так и в зоне проводимости (полосе состояний выше запрещенной зоны). (Внутренний) полупроводник имеет запрещенную зону, которая меньше, чем у изолятора, и при комнатной температуре значительное количество электронов может быть возбуждено для перехода через запрещенную зону. Однако чистый полупроводник не очень полезен, поскольку он не является ни хорошим изолятором, ни хорошим проводником. Важной особенностью полупроводников (и некоторых изоляторов, известных как полуизоляторы) является то, что их проводимость можно увеличить и контролировать путем легирования примесями и управления электрическими полями. Легирование и управление приближают зону проводимости или валентную зону к уровню Ферми и значительно увеличивают количество частично заполненных состояний. Некоторые полупроводниковые материалы с широкой запрещенной зоной иногда называют полуизоляторами. В неделегированном состоянии они имеют электрическую проводимость, близкую к электрическим изоляторам, однако их можно легировать, что делает их столь же полезными, как и полупроводники. Полуизоляторы находят узкоспециализированное применение в микроэлектронике, например, в качестве подложек для HEMT. Примером распространенного полуизолятора является арсенид галлия. Некоторые материалы, такие как диоксид титана, могут даже использоваться в качестве изоляционных материалов для некоторых применений, в то время как для других применений они рассматриваются как полупроводники с широкой запрещенной зоной.

Носители заряда (электроны и отверстия)

Частичное заполнение состояний в нижней части зоны проводимости можно понимать как добавление электронов в эту зону. Электроны не остаются в ней неограниченно долго (из-за естественной тепловой рекомбинации), но могут перемещаться в течение некоторого времени. Фактическая концентрация электронов обычно очень мала, и поэтому (в отличие от металлов) электроны в зоне проводимости полупроводника можно рассматривать как некий классический идеальный газ, где электроны свободно движутся, не подчиняясь принципу запрета Паули. В большинстве полупроводников зоны проводимости имеют параболическую дисперсию, и поэтому эти электроны реагируют на силы (электрическое поле, магнитное поле и т.д.) примерно так же, как в вакууме, хотя и с другой эффективной массой.

Допинг

Проводимость полупроводников может быть легко изменена путем введения примесей в их кристаллическую решетку. Процесс добавления контролируемых примесей в полупроводник известен как допирование. Количество примесей, или допантов, добавленных к собственному (чистому) полупроводнику, изменяет его уровень проводимости. Допированные полупроводники называются внешними. При добавлении примесей к чистым полупроводникам электрическая проводимость может изменяться в тысячи или миллионы раз. В 1 см³ образца металла или полупроводника содержится порядка 10²² атомов. В металле каждый атом предоставляет по крайней мере один свободный электрон для проводимости, таким образом, 1 см³ металла содержит порядка 10²² свободных электронов, в то время как образец 1 см³ чистого германия при 20 °C содержит около 4,2 атома, но только 2,5 свободных электрона и 2,5 дырок. Добавление 0,001% мышьяка (примеси) обеспечивает дополнительные 10¹⁷ свободных электронов в том же объеме, и электрическая проводимость увеличивается в 10 000 раз. Материалы, выбранные в качестве подходящих допантов, зависят от атомных свойств как самого допанта, так и материала, который подлежит допированию. В общем случае, допанты, вызывающие желаемые контролируемые изменения, классифицируются как акцепторы или доноры электронов. Полупроводники, допированные донорными примесями, называются n-типа, а полупроводники, допированные акцепторными примесями, известны как p-типа. Обозначения n- и p-типа указывают, какой носитель заряда является основным носителем в материале. Противоположный носитель называется неосновным, и он существует в результате теплового возбуждения при гораздо более низкой концентрации по сравнению с основным носителем. Например, чистый полупроводник кремния имеет четыре валентных электрона, которые связывают каждый атом кремния с его соседями. В кремнии наиболее распространенными допантами являются элементы III и V групп. Элементы III группы содержат три валентных электрона, что заставляет их функционировать как акцепторы при допировании кремния. Когда атом акцептора замещает атом кремния в кристаллической решетке, создается вакантное состояние (электронная "дырка"), которая может перемещаться по решетке и функционировать как носитель заряда. Элементы V группы имеют пять валентных электронов, что позволяет им действовать как доноры; замещение этих атомов на кремний создает дополнительный свободный электрон. Таким образом, кремниевый кристалл, допированный бором, создает полупроводник p-типа, а кристалл, допированный фосфором, – полупроводник n-типа. В процессе производства допанты могут диффундировать в полупроводниковый материал при контакте с газообразными соединениями нужного элемента, или может быть использована ионная имплантация для точного позиционирования допированных областей.

Полупроводники аморфные

Некоторые материалы, при быстром охлаждении до стекловидного аморфного состояния, проявляют полупроводниковые свойства. К ним относятся B, Si, Ge, Se и Te, и существует множество теорий, объясняющих эти свойства.

Ранняя история полупроводников

История понимания полупроводников начинается с экспериментов по электрическим свойствам материалов. Свойства температурного коэффициента сопротивления, ректификации и светочувствительности были замечены начиная с начала XIX века. Томас Иоганн Зебек первым обнаружил эффект, связанный с полупроводниками, в 1821 году. В 1833 году Майкл Фарадей сообщил, что сопротивление образцов сульфида серебра уменьшается при нагревании, что противоречит поведению металлических веществ, таких как медь. В 1839 году Александр Эдмон Беккерель описал наблюдение напряжения между твердым телом и жидким электролитом при освещении – фотоэлектрический эффект. В 1873 году Уиллоуби Смит заметил, что селеновые резисторы демонстрируют уменьшение сопротивления под воздействием света. В 1874 году Карл Фердинанд Браун наблюдал проводимость и ректификацию в металлических сульфидах, хотя этот эффект был обнаружен ранее Питером Мунком аф Розеншельдом в 1835 году в Annalen der Physik und Chemie, а Артур Шустер обнаружил, что слой оксида меди на проводах обладает ректификационными свойствами, которые исчезают при очистке проводов. Уильям Гриллс Адамс и Ричард Эванс Дэй наблюдали фотоэлектрический эффект в селене в 1876 году. Для единого объяснения этих явлений требовалась теория физики твердого тела, которая активно развивалась в первой половине XX века. В 1878 году Эдвин Герберт Холл продемонстрировал отклонение движущихся носителей заряда в магнитном поле – эффект Холла. Открытие электрона Дж. Дж. Томсоном в 1897 году стимулировало развитие теорий электронной проводимости в твердых телах. Карл Бедекер, наблюдая эффект Холла с обратным знаком по сравнению с металлами, предположил, что йодид меди имеет положительные носители заряда. Йохан Кенигсбергер классифицировал твердые материалы, такие как металлы, изоляторы и «переменные проводники» в 1914 году, хотя его ученик Йозеф Вайс уже в 1910 году в своей диссертации ввел термин Halbleiter (полупроводник в современном понимании). Феликс Блох опубликовал теорию движения электронов в атомных решетках в 1928 году. В 1930 году Б. Гудден предположил, что проводимость в полупроводниках обусловлена незначительной концентрацией примесей. К 1931 году была установлена зонная теория проводимости, и разработана концепция запрещенной зоны. Вальтер Г. Шоттки и Невилл Фрэнсис Мотт разработали модели потенциального барьера и характеристики металл-полупроводникового перехода. К 1938 году Борис Давыдов разработал теорию ректификатора на основе оксида меди, выявив эффект p–n-перехода и важность малых носителей заряда и поверхностных состояний. В годы, предшествовавшие Второй мировой войне, исследования в области инфракрасной детекции и связи стимулировали изучение сульфида свинца и селенида свинца. Эти устройства использовались для обнаружения кораблей и самолетов, инфракрасных дальномеров и систем голосовой связи. Точечный контактный кристаллический детектор стал важным компонентом микроволновых радиосистем, поскольку доступные электронные лампы не могли использоваться в качестве детекторов на частотах выше 4000 МГц; передовые радиолокационные системы полагались на быстродействие кристаллических детекторов. В ходе войны проводились значительные исследования и разработки кремниевых материалов для создания детекторов стабильного качества. В 1922 году Олег Лосев разработал двухполюсные усилители отрицательного сопротивления для радио, но погиб в блокаде Ленинграда после успешного завершения работы. В 1926 году Юлиус Эдгар Лилиенфельд запатентовал устройство, напоминающее полевой транзистор, но оно оказалось непрактичным. Р. Хильш и Р. В. Поль в 1938 году продемонстрировали усилитель на основе твердого тела, использующий структуру, аналогичную управляющей сетке вакуумной лампы; хотя устройство демонстрировало усиление мощности, его частота среза составляла один цикл в секунду, что было слишком низко для практического применения, но являлось эффективным применением доступной теории. Во Франции, во время войны, Герберт Матаре наблюдал усиление между соседними точками контакта на германиевой основе. После войны группа Матаре объявила о своем усилителе «Транзистрон» вскоре после того, как Bell Labs объявила о «транзисторе». В 1954 году физико-химик Моррис Таненбаум изготовил первый кремниевый транзистор в лабораториях Bell. Однако ранние транзисторы с p–n-переходом были относительно громоздкими устройствами, которые было трудно производить в массовых масштабах, что ограничивало их применение специализированными областями.